深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利光声膜厚量测系统及量测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119714093B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411998491.3，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权光声膜厚量测系统及量测方法是由陈鲁;孙韬;马砚忠;白园园设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本光声膜厚量测系统及量测方法在说明书摘要公布了：本申请提供的光声膜厚量测系统及方法，通过在量测系统中引入激光偏振调节器件或者晶圆旋转组件，根据量测数据信噪比调节飞秒脉冲激光的偏振态或者晶圆角度，以消除飞秒脉冲激光的偏振方向与晶圆晶格取向失配对量测稳定性的影响，提升了量测信号的信噪比。
本发明授权光声膜厚量测系统及量测方法在权利要求书中公布了：1.一种光声膜厚量测系统，其特征在于，包括： 光源模块，所述光源模块用于发射探测光束及泵浦光束； 探测光路模块，所述探测光路模块包括第一偏振态调节部件，所述第一偏振态调节部件用于调节所述探测光束的偏振态； 泵浦光路模块，所述泵浦光路模块包括第二偏振态调节部件，所述第二偏振态调节部件用于调节所述泵浦光束的偏振态； 及处理模块，所述探测光束及所述泵浦光束在待测晶圆上形成的探测光斑及泵浦光斑重合并激发所述待测晶圆产生光信号，所述处理模块接收所述光信号并根据所述光信号获取信噪比；其中： 固定所述第二偏振态调节部件的状态，连续调节所述第一偏振态调节部件的状态，并获取每个状态下量测信号的信噪比，基于量测信号信噪比的优劣情况确定第一偏振态调节部件的最优状态；固定第一偏振态调节部件的状态，连续调节所述第二偏振态调节部件的状态，并获取每个状态下量测信号的信噪比，基于量测信号信噪比的优劣情况确定第二偏振态调节部件的最优状态； 所述处理模块根据所述第一偏振态调节部件的最优状态及所述第二偏振态调节部件的最优状态对所述第一偏振态调节部件和所述第二偏振态调节部件进行调节。
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