华海清科股份有限公司;华海清科(北京)科技有限公司李小娟获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司;华海清科(北京)科技有限公司申请的专利防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119734161B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411879312.4，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备是由李小娟;靳凯强;刘远航;赵德文;路新春设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备在说明书摘要公布了：本发明提出了防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、数据处理设备及存储介质。所述防护装置用于晶圆减薄设备的晶圆磨削模块，所述防护装置包括：分隔导流条，其将回转工作台划分成多个扇形区域，并且具有导流槽；以及可动防护件，其设置成在晶圆位于任一工位时可动防护件位于回转工作台的分隔导流条上方，在进行晶圆磨削时可动防护件能够移动到阻止废液溅射的第一位置，在回转回转工作台时可动防护件能够移动到允许回转工作台回转的第二位置。本发明能够有效减少晶圆工位旋转切换时废屑等杂质接触或掉落到晶圆表面，从而有效降低磨削废屑损伤晶圆上表面的风险。
本发明授权防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备在权利要求书中公布了：1.一种防护装置1，所述防护装置1用于晶圆减薄设备100的晶圆磨削模块2，所述晶圆磨削模块2具有能够使晶圆在多个工位之间回转的回转工作台3，其特征在于，所述防护装置1包括： 分隔导流条4，其自所述回转工作台3的表面凸起并径向延伸以将所述回转工作台3划分成多个扇形区域，所述分隔导流条4的顶面开设有具有径向外端开口的导流槽5；以及 可动防护件7，所述可动防护件7具有与所述回转工作台3的半径相匹配的径向尺寸，所述可动防护件7设置成位于所述分隔导流条4上方，在进行晶圆磨削时所述可动防护件7能够移动到阻止废液溅射的第一位置，在回转所述回转工作台3时所述可动防护件7能够移动到允许所述回转工作台3回转的第二位置；所述可动防护件7包括防护板23，在进行晶圆磨削时所述防护板23的下端降到所述导流槽5中、在回转所述回转工作台3时所述防护板23的下端升到高于所述分隔导流条4。
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