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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利晶圆图像处理方法、装置和晶圆扫描系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119780116B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411936788.7，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶圆图像处理方法、装置和晶圆扫描系统是由张波;李磊;陈君辉设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆图像处理方法、装置和晶圆扫描系统在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种晶圆图像处理方法、装置和晶圆扫描系统，方法包括在基于光源对目标晶圆进行照明的情况下，控制相机对目标晶圆以行扫描方式进行多次批量扫描。每次批量扫描包括以行扫描的方式扫描一行或多行像素以获取本次批量扫描的原始扫描图像，本次批量扫描的原始扫描图像包括本次批量扫描的一行或多行像素的图像。通过光功率测量装置获取每次批量扫描对应的发光功率，每次批量扫描对应的发光功率为光源在每次批量扫描时的发光功率。根据基准像素亮度值和每次批量扫描时发光功率调整每次批量扫描的原始扫描图像中像素的亮度值以得到本次批量扫描对应像素修正图像，根据多次批量扫描的多个像素修正图像得到目标晶圆的目标扫描图像。

本发明授权晶圆图像处理方法、装置和晶圆扫描系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆图像处理方法，其特征在于，所述方法包括： 在基于光源对基准晶圆进行照明的情况下，多次调节所述光源的发光功率，并在每次调节所述光源的发光功率后，控制相机对所述基准晶圆扫描以得到一个基准晶圆图像； 获取多次调节所述光源的发光功率后对所述基准晶圆进行扫描得到的多个基准晶圆图像，并根据多次调节所述光源的发光功率对应的多个目标发光功率以及所述多个基准晶圆图像获取基准像素亮度值，其中，基于所述多个目标发光功率中的每一所述目标发光功率对应的基准晶圆图像包含的像素的亮度值得到所述每一目标发光功率对应的亮度均衡值，以得到所述多个目标发光功率对应的多个亮度均衡值；在多次调节所述光源的发光功率之后对所述光源的发光功率进行采样以获得多个采样发光功率，根据所述多个采样发光功率得到发光功率均衡值；将所述多个目标发光功率中与所述发光功率均衡值相等的目标发光功率对应的亮度均衡值确定为所述基准像素亮度值； 在基于所述光源对目标晶圆进行照明的情况下，控制所述相机对所述目标晶圆以行扫描的方式进行多次批量扫描；其中，每次批量扫描包括以行扫描的方式扫描一行或多行像素以获取本次批量扫描的原始扫描图像，本次批量扫描的原始扫描图像包括本次批量扫描的一行或多行像素的图像； 通过光功率测量装置获取每次批量扫描对应的发光功率，其中，所述每次批量扫描对应的发光功率为所述光源在每次批量扫描时的发光功率； 将所述多个目标发光功率中与所述每次批量扫描对应的发光功率相等的目标发光功率对应的一个亮度均衡值作为目标亮度均衡值，将所述原始扫描图像中各个像素的亮度值乘以所述原始扫描图像对应的修正系数以得到像素修正图像，其中，所述原始扫描图像对应的修正系数为所述基准像素亮度值与所述目标亮度均衡值的比值； 根据所述多次批量扫描得到的多个像素修正图像得到所述目标晶圆的目标扫描图像。

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