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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119794546B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510218277.X，技术领域涉及：B23K26/00；该发明授权基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置及方法是由张西方;姚振强;娄禹辰;郄子轩;杜海峰;李孝行设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置及方法，方法包括步骤S1：将专用夹具与旋转C轴连接；步骤S2：将加工工件装夹在专用夹具上；步骤S3：使飞秒激光器产生的激光束经过二维扫描振镜和场镜聚焦后辐照加工工件的表面；步骤S4：使二维扫描振镜控制激光焦点在加工工件平面内的加工路径以协同旋转C轴进行工件表面周向方向的加工；步骤S5：优化激光脉冲能量加工工艺参数以优化加工过程。本发明通过二维扫描振镜系统在X‑Y平面上对工件表面实施精密的路径规划与优化，有效抑制了在旋转加工过程中因激光光斑脉冲搭接率变化而产生的周期性波动问题，实现了无波纹度的高精度轮廓加工，极大提升了加工表面的质量水平。

本发明授权基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于振镜路径优化的无波纹度飞秒激光加工装置，其特征在于，包括： 飞秒激光器1、扩束器2、衰减器3、反射镜4、二维扫描振镜5以及F-θ场镜7； 所述飞秒激光器1用于产生超短脉冲的激光束，沿预设路径传播；所述预设路径包括使超短脉冲的激光束依次经过扩束器2、衰减器3、反射镜4、二维扫描振镜5以及F-θ场镜7； 所述扩束器2用于扩大激光束直径、控制发散角、优化传输效率以及维持预设距离传输保持聚焦性能； 所述衰减器3用于降低激光束的能量强度； 所述反射镜4用于改变激光束的传播方向； 所述二维扫描振镜5用于调整激光束的方向和焦距； 所述F-θ场镜7用于修正激光束偏转的非线性关系； 还包括： Z轴6、加工工件8、专用夹具9、旋转C轴10、支撑架11、旋转A轴12、Y轴13和X轴14； 所述二维扫描振镜5固定在Z轴6上，用以调整激光光斑直径在加工工件8表面的聚焦；激光光斑聚焦后，使二维扫描振镜5控制激光焦点在加工工件8表面X-Y平面内扫描路径的规划； 所述加工工件8固定在专用夹具9上； 所述专用夹具9与旋转C轴10连接； 所述旋转C轴10通过支撑架11与运动台A轴12、Y轴13和X轴14连接； 所述飞秒激光器1产生波长为1030nm、光束质量M21.2、脉宽290fs、单脉冲最大能量400μJ、60Hz~1000kHz的可调重复频率的超短脉冲的激光束； 所述旋转C轴10的最大转速为600rpm，最大负载10kg，重复定位精度3’’； 所述F-θ场镜7的焦距在60mm~100mm之间； 所述二维扫描振镜5在X-Y平面内采用条带式激光往返扫描方式，且适配的旋转C轴10的旋转速度不超过1.0rpm。

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