深圳中科飞测科技股份有限公司马砚忠获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119803327B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411875836.6，技术领域涉及：G01B11/16；该发明授权晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统是由马砚忠;陈治均;程朝奎;白园园;陈鲁设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统，该晶圆二维翘曲程度测量装置包括第一运动平台、图像采集装置、测距模块和控制器，控制器根据图像采集装置定位的待测点控制第一运动平台移动，直至待测点与测距模块在晶圆表面的至少三个测量点所形成的多边形的中心点重合，再读取测距模块上传的至少三个测量点的三维坐标数据，并根据三维坐标数据计算得到待测点的二维倾角。本发明能够实现对晶圆上待测点进行精准定位，再对待测点的翘曲程度进行精确测量。
本发明授权晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆二维翘曲程度测量装置，其特征在于，其包括： 第一运动平台，所述第一运动平台用于承载待测的晶圆； 图像采集装置，用于拍摄所述晶圆表面图像，并根据所述图像定位所述晶圆上的待测点； 测距模块，所述测距模块在所述晶圆表面形成至少三个测量点，所述至少三个测量点构建为一多边形，所述测距模块用于获取所述至少三个测量点的三维坐标数据； 控制器，分别与所述第一运动平台、所述图像采集装置、所述测距模块电性连接，用于根据所述图像采集装置定位的所述待测点控制所述第一运动平台移动，以致所述待测点与所述多边形的中心点重合，再读取所述测距模块上传的所述至少三个测量点的三维坐标数据，并根据所述三维坐标数据计算得到所述待测点的二维倾角。
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