苏州镁伽科技有限公司殷亚男获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州镁伽科技有限公司申请的专利晶圆测量方法、装置、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804244B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411662841.9，技术领域涉及：G01N15/0227；该发明授权晶圆测量方法、装置、电子设备和存储介质是由殷亚男;董飞设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆测量方法、装置、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种晶圆测量方法、装置、电子设备和存储介质。方法包括：获取针对参考晶圆扫描得到的参考图像；根据参考图像获取参考晶圆内的参考晶粒的位置信息，以得到晶粒分布图；根据晶粒分布图对待测晶圆内的待测晶粒进行形貌测量，以获取待测晶粒的形貌测量数据。这种方案可以在扫描晶圆的过程中基于扫描得到的晶圆三维数据晶圆进行实时测量，有利于提高晶圆的测量效率。
本发明授权晶圆测量方法、装置、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测量方法，其特征在于，包括： 获取针对参考晶圆扫描得到的参考图像； 根据所述参考图像获取所述参考晶圆内的参考晶粒的位置信息，以得到晶粒分布图； 根据所述晶粒分布图对待测晶圆内的待测晶粒进行形貌测量，以获取所述待测晶粒的形貌测量数据； 所述根据所述晶粒分布图对待测晶圆内的待测晶粒进行形貌测量，包括： 在所述晶粒分布图中确定待测区域，所述待测区域包含目标参考晶粒所在的晶粒区域，所述目标参考晶粒在所述参考晶圆中的位置与所述待测晶粒在所述待测晶圆中的位置一致； 基于所述待测区域确定第二图像采集模组在扫描所述待测晶圆时的第二预设扫描路径，所述第二预设扫描路径所覆盖的扫描区域包含所述待测区域； 获取所述第二图像采集模组按照所述第二预设扫描路径对所述待测晶圆进行扫描所得到的所述形貌测量数据。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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