湖北兴福电子材料股份有限公司郑秋曈获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北兴福电子材料股份有限公司申请的专利一种剥膜液及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119805886B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411820580.9,技术领域涉及:G03F7/42;该发明授权一种剥膜液及其制备方法是由郑秋曈;贺兆波;叶瑞;欧阳克银;钟昌东;黄锣锣;张演哲;高楒羽;黎鹏飞;张宗萍设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种剥膜液及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种剥膜液及其制备方法,该剥膜液由增溶剂、金属腐蚀抑制剂、表面整平剂和有机溶剂组成。其中增溶剂可为含有苯系物的组合,能够提高光刻胶在有机溶剂中的溶解度,延长剥膜液的使用寿命。表面整平剂为1,3‑丙二醇、2‑苯基‑1,3‑丙二醇、2‑氨基‑1,3‑丙二醇中的一种或几种,用于提升剥膜过程中剥膜液的均匀性,避免光刻胶表面出现不均匀的凹凸现象。金属腐蚀抑制剂可选自唑类或多酚类化合物,能够抑制剥膜过程中Cu、Ag等金属的腐蚀;有机溶剂为二甲苯和二氯甲烷的组合,主要用于溶解和去除膨胀脱落的光刻胶。本发明提供的剥膜液,能够提高剥胶的速率,且显著提高剥胶的均匀性,此外能够有效保护金属不被腐蚀,控制Cu、Ag等金属的腐蚀速度限制在1Amin以下。
本发明授权一种剥膜液及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种剥膜液,其特征在于,按质量百分比计,其含有表面整平剂10-20%,增溶剂2%-10%、金属腐蚀抑制剂0.1%-2%,余量为有机溶剂;所述表面整平剂为1,3-丙二醇、2-苯基-1,3-丙二醇、2-氨基-1,3-丙二醇中的一种或几种; 增溶剂为苯酚类化合物与二甲苯的组合物;苯酚类化合物选自4-丁基苯酚、4-环己基苯酚、3,4-二甲苯酚中的一种或几种; 所述金属腐蚀抑制剂为唑类化合物和或多酚类化合物,所述唑类化合物为卢立康唑、2-氨基噁唑、5-苄基-1H-四唑、2-乙基-2-唑啉中的任意一种; 所述多酚类化合物为单宁酸或4,4'-二羟基联苯中的任意一种。
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