中国科学院微电子研究所武志鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利基板翘曲高度测量的在线校准方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119826769B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411811802.0，技术领域涉及：G01B21/32；该发明授权基板翘曲高度测量的在线校准方法及装置是由武志鹏;齐月静;苏佳妮;齐威设计研发完成，并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板翘曲高度测量的在线校准方法及装置在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供了一种基板翘曲高度测量的在线校准方法及装置，其中，方法包括：通过带有非线性超越函数修正项的多项式模型建立线性化校准模型；通过垂向扫描对基板高度信号和参考高度信号进行同步采集，得到基板高度信号向量和参考高度信号向量；对所述基板高度信号向量和参考高度信号向量进行零点修正，使基板高度信号和参考高度信号的零点保持一致；完成预定次数的垂向扫描后，将获得的数据进行融合，并采用加权最小二乘拟合方法，通过融合数据进行拟合得到线性化校准模型的参数，并将所述参数带入到所述线性化校准模型，得到修正后的基板线性高度。本说明书实施例能够对基板翘曲高度探测信号进行线性化校准处理。
本发明授权基板翘曲高度测量的在线校准方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基板翘曲高度测量的在线校准方法，其特征在于，包括： 通过带有非线性超越函数修正项的多项式模型建立线性化校准模型； 通过垂向扫描对基板高度信号和参考高度信号进行同步采集，得到基板高度信号向量和参考高度信号向量； 对所述基板高度信号向量和参考高度信号向量进行零点修正，使基板高度信号和参考高度信号的零点保持一致； 完成预定次数的垂向扫描后，将获得的数据进行融合，并采用加权最小二乘拟合方法，通过融合数据进行拟合得到线性化校准模型的参数，并将所述参数带入到所述线性化校准模型，得到修正后的基板线性高度。
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