深圳中科飞测科技股份有限公司孙晶露获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119833421B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411783604.8，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法是由孙晶露;马砚忠;袁明波;郁健;陈鲁设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法在说明书摘要公布了：本申请提供的大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法，设置波长可在第一波长和第二波长间切换的光源且第一波长大于第二波长，控制单元可根据被测晶圆的翘曲量或翘曲范围控制光源发射第一波长光束和或第二波长光束，以确定晶圆表面形貌数据，提高大尺寸晶圆形貌的测量精度和产率。
本发明授权大尺寸晶圆形貌测量装置及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸晶圆形貌测量装置，其特征在于，包括： 光源，所述光源出射的激光束的波长可在第一波长和第二波长间切换，所述第一波长大于所述第二波长； 第一干涉系统，所述第一干涉系统包括分光镜、准直镜、参考反射镜、中继镜及探测器；及 控制单元，所述控制单元用于控制所述光源出射的激光束的波长在第一波长和第二波长间切换；其中： 所述光源出射的激光束的至少一部分经所述分光镜进入所述准直镜，并经所述准直镜后形成的平行光入射至所述参考反射镜，所述参考反射镜对入射的光束进行反射和透射以形成反射光和透射光； 所述反射光反射进入所述准直镜，所述透射光再经被测晶圆一侧的表面反射后进入所述准直镜，所述准直镜对入射的反射光和透射光进行汇聚以形成合束光束，所述合束光束经所述分光镜汇聚到光阑中心处再由所述中继镜汇聚到所述探测器，所述探测器生成干涉条纹图像； 所述控制单元根据第一次探测获取的所述干涉条纹图像，确定所述被测晶圆的翘曲量或翘曲范围，并根据所述翘曲量或翘曲范围控制所述光源发射第一波长光束和或第二波长光束进行第二次探测，再根据第二次探测获取的干涉条纹图像确定晶圆表面形貌数据。
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