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合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)孟献才获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)申请的专利一种用于材料离子辐照的绝缘密封束斑可调靶电极结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119835852B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510031972.5,技术领域涉及:H05H6/00;该发明授权一种用于材料离子辐照的绝缘密封束斑可调靶电极结构是由孟献才;廖晨伦;李旭;闫振;钱玉忠;梁立振设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于材料离子辐照的绝缘密封束斑可调靶电极结构在说明书摘要公布了:本发明涉及离子辐照装置技术领域,尤其涉及一种用于材料离子辐照的绝缘密封束斑可调靶电极结构。其技术方案包括圆筒状电极,所述圆筒状电极的底部螺纹连接有绝缘支撑基座,所述圆筒状电极和绝缘支撑基座之间设置有冷却机构;所述圆筒状电极内设置有靶,所述绝缘支撑基座和所述靶之间设置有高度调节机构;所述靶与冷却机构之间连接有螺旋水冷软管。本发明通过可调的离子能量和束斑大小,装置能够适应不同材料的辐照需求,为离子辐照装置的靶电极结构设计提供良好的技术基础,带走离子溅射轰击产生的热量,防止电极升温变形损坏,保障离子辐照过程的连续性与稳定性。

本发明授权一种用于材料离子辐照的绝缘密封束斑可调靶电极结构在权利要求书中公布了:1.一种用于材料离子辐照的绝缘密封束斑可调靶电极结构,其特征在于,包括: 圆筒状电极1,所述圆筒状电极1的底部螺纹连接有绝缘支撑基座6,所述圆筒状电极1和绝缘支撑基座6之间设置有冷却机构; 所述圆筒状电极1内设置有靶3,所述绝缘支撑基座6和所述靶3之间设置有高度调节机构; 所述靶3与冷却机构之间连接有螺旋水冷软管5; 所述冷却机构包括开设于圆筒状电极1上的电极夹层水冷通道2,所述绝缘支撑基座6的两侧分别开设有基座进水口7和基座出水口8,所述电极夹层水冷通道2与基座进水口7和基座出水口8连通; 所述螺旋水冷软管5为两个,两个螺旋水冷软管5的底部分别与基座进水口7和基座出水口8连接; 所述高度调节机构为高度可调定制丝杆4,高度可调定制丝杆4由丝杆上部401、丝杆下部404与环形螺母402组装而成,丝杆下部404上开设有螺母旋转凹槽403,所述环形螺母402转动套设于丝杆下部404的螺母旋转凹槽403上,环形螺母402的上端开设有与丝杆上部401适配的螺纹孔,丝杆上部401与螺纹孔内壁螺纹连接,丝杆上部401的顶部靶3固定连接,丝杆下部404的底部与绝缘支撑基座6固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室),其通讯地址为:230031 安徽省合肥市庐阳区三国城路80号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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