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龙图腾网获悉浙江赛瑾半导体科技有限公司申请的专利一种用于晶圆载具的清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119838984B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510087115.7，技术领域涉及：B08B9/28；该发明授权一种用于晶圆载具的清洗设备是由潘经波;温小健;刘出群;郭昕设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆载具的清洗设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体载具技术领域，特别涉及一种用于晶圆载具的清洗设备，其包括旋转机构。所述晶圆载具包括载具主体，载具盖。所述载具主体上设置有提拉部，把手，定位槽。所述旋转机构包括转动电机，旋转轴，产品支架，支撑侧托，旋转侧托，复位弹簧。与现有技术相比，本发明利用热风及热水对载具进行清洗和烘干，提升载具的清洗效率。通过设置所述升降机构与旋转机构带动所述晶圆载具转动，可以保证对所述晶圆载具进行全面清洗，清洗效率高，提升了产能，并且能够节约水量和气量，降低了生产成本。通过设置所述支撑侧托和旋转侧托，对放入所述产品支架的所述晶圆载具进行固定，保证清洗的高效、稳定，同时上下料方便，操作简单。

本发明授权一种用于晶圆载具的清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆载具的清洗设备，所述晶圆载具包括一个载具主体，以及一个盖合在所述载具主体上的载具盖,所述载具主体上设置有一个位于顶部的提拉部，两个位于两侧的把手，以及三个位于底部的定位槽，所述提拉部、把手及定位槽分别位于所述载具主体上的与所述载具盖的相邻的侧面上，其中所述提拉部与定位槽分别位于两个相对的侧面上，而两个所述把手分别位于另外两个相对的侧面上,其特征在于：所述用于晶圆载具的清洗设备包括一个旋转机构，所述旋转机构包括一个转动电机，一个连接在所述转动电机上的旋转轴，一个连接在所述旋转轴上的产品支架，两个设置在所述产品支架上的支撑侧托，两个设置在所述产品支架上的旋转侧托，以及两个分别连接在所述旋转侧托与所述产品支架上的复位弹簧，所述支撑侧托和所述旋转侧托分别设置在所述产品支架的两个相对的侧面上，设置所述支撑侧托和所述旋转侧托的侧面均与所述旋转轴所在的连接面相邻，两个所述支撑侧托均包括一个侧托底板，至少两根垂直固定在所述侧托底板上的侧托安装杆，以及一个与所述侧托底板间隔设置的侧托固定块，所述旋转侧托包括一个与所述产品支架连接的旋转部，一个设置在所述旋转部上的下压端，以及一个设置在所述旋转部上的扣合端，所述旋转部位于所述下压端与扣合端之间，所述下压端位于所述旋转侧托的朝向所述支撑侧托的一侧，所述扣合端位于所述旋转侧托的朝向所述转动电机的一侧，所述下压端与扣合端之间呈现为锐角，所述下压端的长度小于所述扣合端的长度，所述侧托固定块与提拉部的抵接点和所述下压端与晶圆载具的边缘的抵接点的连线与所述旋转轴的中心轴之间具有一个第一锐角，所述旋转部的中心和所述侧托固定块与提拉部之间的抵接点的连线与所述旋转轴的中心轴之间具有一个第二锐角，所述第一锐角大于第二锐角，所述第二锐角与第一锐角之差能使所述晶圆载具能够竖直放置为准,所述复位弹簧到达其极限拉伸位置时所述晶圆载具处于竖直放置的位置。

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