华海清科股份有限公司王凯杰获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利晶圆边缘抛光方法和抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119897783B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510259289.7，技术领域涉及：B24B21/00；该发明授权晶圆边缘抛光方法和抛光装置是由王凯杰;王科;郭垒;刘浩洋;庄鑫设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆边缘抛光方法和抛光装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆边缘抛光方法和抛光装置，该晶圆边缘抛光装置包括：旋转机构，用于装载晶圆并带动晶圆绕中心轴线旋转；抛光头，其将抛光带抵压于晶圆的边缘部；所述抛光头沿水平方向移动和或绕定点摆动，以在晶圆边缘形成环形开口；所述抛光头的至少部分为非平面结构，使得形成的环形开口无棱角结构。
本发明授权晶圆边缘抛光方法和抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘抛光装置，其特征在于，包括： 旋转机构，用于装载晶圆并带动晶圆绕中心轴线旋转； 抛光组件，其包括抛光头和抛光带，所述抛光头将抛光带抵压于晶圆的边缘部； 所述抛光头沿水平方向移动和或绕定点摆动，以在晶圆边缘形成环形开口；所述抛光头的至少部分为非平面结构，使得形成的环形开口无棱角结构； 所述抛光头包括倾斜部和圆弧部，所述倾斜部自抛光头的底面朝上延伸并远离所述旋转机构的中心轴线，以朝上向外引导所述抛光带；所述圆弧部与所述倾斜部相对设置，以消除环形开口的棱角结构； 还包括摆动驱动机构，其为摆动电机，用于带动抛光头摆动，以改变抛光头与晶圆边缘部的接触状态。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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