华海清科股份有限公司许振杰获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种修整头获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119910574B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510126260.1,技术领域涉及:B24B53/12;该发明授权一种修整头是由许振杰;王春龙设计研发完成,并于2019-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种修整头在说明书摘要公布了:本发明公开了一种修整头,包括修整组件和用于承载修整组件的基座组件,所述修整组件可相对于基座组件旋转并竖直移动以修整抛光垫;并且,所述修整头中设置有传感器以监测修整组件相对于基座组件的竖直位置。本申请提供的修整头用于化学机械抛光设备中抛光垫的修整活化,其结构合理,内部设置传感器实时监测修整组件相对于基座组件的竖直位置,实时获取修整组件底面距离抛光垫的距离,以保证良好的修整效果。
本发明授权一种修整头在权利要求书中公布了:1.一种修整头,其特征在于,包括:修整组件和用于承载修整组件的基座组件; 所述修整组件包括连接轴,所述连接轴的上部具有定位环; 所述基座组件包括基座、承载盘、上旋转套及下旋转套,所述基座包括轴承孔,所述承载盘卡接于所述轴承孔中,所述承载盘包括承载盘通孔,所述下旋转套穿过所述承载盘通孔与所述上旋转套连接,以使所述承载盘不随所述上旋转套和所述下旋转套形成的组体一体旋转,所述下旋转套内部设置有第一通孔,所述连接轴设置在所述第一通孔内、并可沿所述第一通孔上下滑动; 所述承载盘上设置有传感器,所述传感器位于所述上旋转套与所述下旋转套之间的竖向空间内,以监测所述修整组件相对于所述基座组件的竖直位置。
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