天津光电集团有限公司;天津七五四光电技术有限公司程子健获国家专利权
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龙图腾网获悉天津光电集团有限公司;天津七五四光电技术有限公司申请的专利一种SiC材料的MOSFET器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119922947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411906402.8,技术领域涉及:H10D30/63;该发明授权一种SiC材料的MOSFET器件是由程子健设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SiC材料的MOSFET器件在说明书摘要公布了:本发明公开了一种SiC材料的MOSFET器件,漏极位于最底部,漏极上方设有衬底,衬底为重掺杂N型SiC衬底,衬底的高掺杂SiC与漏极的金属钨形成欧姆接触,外延层位于衬底上方,采用N型掺杂的SiC材料制成,低于衬底掺杂浓度,外延层包括P区,P区为在N型掺杂的外延层中,离子注入一条P型掺杂的SiC带,使其与外延层N型掺杂的SiC之间形成PN结,外延层中P型掺杂的SiC带设于衬底上方5μm处,P区的上方对称设有两个P型掺杂基区,两个P型掺杂基区的上方对称设有P+源区和N+源区,两个P型掺杂基区之间对称设有两个多晶硅区域,本发明具有尺寸小、耐高压、抗高温、快开关以及低导通电阻和低损耗的优点,主要应用于新能源汽车规级的高性能、高栅氧可靠性SiCMOSFET。
本发明授权一种SiC材料的MOSFET器件在权利要求书中公布了:1.一种SiC材料的MOSFET器件,其特征在于,包括漏极,衬底和外延层,所述漏极位于最底部,其作为MOSFET器件输出电流的端子,材料为金属钨,所述漏极上方设有衬底,所述衬底为重掺杂N型SiC衬底,厚度为1μm,掺杂浓度为5×1019cm-3,所述衬底的高掺杂SiC与漏极的金属钨形成欧姆接触,所述外延层位于衬底上方,采用N型掺杂的SiC材料制成,低于衬底掺杂浓度,其漂移区掺杂浓度为2×1015cm-3,厚度为18μm,所述外延层包括P区,所述P区为在N型掺杂的外延层中,离子注入一条P型掺杂的SiC带,使其与外延层N型掺杂的SiC之间形成PN结,外延层中P型掺杂的SiC带设于衬底上方5μm处,厚度为3μm,掺杂浓度为1×1016cm-3,所述P区的上方对称设有两个P型掺杂基区,用于形成导电沟道,厚度为1.8μm,宽度为5μm,两个P型掺杂基区的上方对称设有P+源区和N+源区,所述N+源区位于内侧,所述P+源区位于N+源区的外侧,所述P+源区的厚度为1μm,宽度为2μm,所述N+源区的厚度为1μm,宽度为3μm,其中一部分与电极金属形成欧姆接触,两个P型掺杂基区之间对称设有两个多晶硅区域,所述多晶硅区域采用N型重掺杂的多晶硅沉积作为器件栅极,所述多晶硅区域呈柱形,厚度为2.5μm,宽度为1μm,所述柱形多晶硅区域下方比P型掺杂基区靠下,所述P+源区的上方设有源极,所述源极和栅极的材料均为金属钼。
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