重庆邮电大学陈伟中获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆邮电大学申请的专利一种集成双自偏置MOS的SiC MOSFET器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119947191B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510348021.0,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权一种集成双自偏置MOS的SiC MOSFET器件是由陈伟中;邓志杰;陈泽生;周扬淇;肖宇凡设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成双自偏置MOS的SiC MOSFET器件在说明书摘要公布了:本发明涉及一种集成双自偏置MOS的SiCMOSFET器件,属于半导体技术领域。该器件结构上呈现对称状态,包括主MOS、自偏置PMOS和自偏置NMOS,其中,在主MOS的两侧均集成有自偏置PMOS和自偏置NMOS。本发明通过集成自偏置PMOS实现了在正向导通时,自偏置PMOS关断,P‑well区域的浮空,降低了器件的导通电阻;在阻断情况下,自偏置PMOS实现导通,对P‑well区域实现了钳位,相比完全浮空器件有效地保护了器件的栅氧化层。通过集成自偏置NMOS实现了第三象限的续流功能,且该条件下,P‑well处于浮空状态,体二极管不可能被导通,完全避免了双极退化效应。
本发明授权一种集成双自偏置MOS的SiC MOSFET器件在权利要求书中公布了:1.一种集成双自偏置MOS的SiCMOSFET器件,其特征在于,该器件包括N+衬底区、位于所述N+衬底区表面的N-漂移区、位于所述N-漂移区表面的主MOS以及位于所述N-漂移区表面且分布在所述主MOS两侧的第一双自偏置MOS和第二双自偏置MOS; 所述第一双自偏置MOS和第二双自偏置MOS结构相同,且呈对称分布;所述第一双自偏置MOS和第二双自偏置MOS均包括自偏置PMOS和自偏置NMOS;所述自偏置PMOS用于控制浮空和钳位;所述自偏置NMOS用于反向导通; 所述第一双自偏置MOS和第二双自偏置MOS均包括P-well区、P+区、第二多晶硅区、第二绝缘介质层、P-base区、第二N+源区和P+漏区;所述P-well区位于所述N-漂移区表面;所述P+区位于所述P-well区左上方或右上方;所述第二多晶硅区位于所述P-well和P+区上方,且通过所述第二绝缘介质层与所述第二N+源区、P-base区、N-漂移区、P-well区和P+区相隔;所述P-base区位于所述N-漂移区表面,且与所述主MOS相邻;所述第二N+源区位于所述P-base区左上方或右上方;所述P+漏区位于所述P-base区表面,且与所述主MOS相邻; 所述P-well区作为所述自偏置PMOS的源极;所述第二N+源区作为所述自偏置NMOS的源极;所述P+漏区作为所述自偏置PMOS的漏极;所述第二多晶硅区作为所述自偏置PMOS和自偏置NMOS的栅极;所述自偏置NMOS的漏极与所述主MOS的漏极连接; 所述自偏置PMOS的漏极和栅极短接;所述自偏置NMOS的源极和栅极短接。
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