重庆邮电大学陈伟中获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆邮电大学申请的专利一种具有双辅助栅的SiC MOSFET器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119997562B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510348022.5,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权一种具有双辅助栅的SiC MOSFET器件是由陈伟中;陈泽生;邓志杰;肖宇凡;周扬淇设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有双辅助栅的SiC MOSFET器件在说明书摘要公布了:本发明涉及一种双辅助栅的SiCMOSFET器件,属于半导体技术领域。该器件中集成了栅极辅助沟槽栅、源极辅助沟槽栅,并设置P‑connect区,形成了受栅极辅助沟槽栅调控的P型势垒区。在器件正向导通时,栅极辅助沟槽栅和源极辅助沟槽栅共同将P型势垒区中的P‑connect耗尽夹断,断开P+源区与P‑well的连接,使P‑well浮空,降低了比导通电阻;在阻断状态时,P‑connect未被夹断,P‑well与P+源区之间势垒几乎为0,形成良好接地。在器件反向续流时,源极辅助沟槽栅旁引入了低势垒的反向导通沟道,通过该反向导通沟道对体二极管的抑制作用消除了双极退化效应,提高了器件的反向恢复速率。
本发明授权一种具有双辅助栅的SiC MOSFET器件在权利要求书中公布了:1.一种具有双辅助栅的SiCMOSFET器件,其特征在于,该器件包括: 形成于衬底表面的漂移区; 形成于所述漂移区表面的N-CSL; 形成于所述N-CSL表面的P-base; 形成于所述N-CSL表面且分布在所述P-base两侧的第一P-well和第二P-well; 形成于所述第一P-well表面的源极辅助沟槽栅和栅极辅助沟槽栅; 形成于所述第一P-well表面且位于所述源极辅助沟槽栅和栅极辅助沟槽栅之间的势垒开关,该势垒开关由所述源极辅助沟槽栅和栅极辅助沟槽栅控制,用于调控所述第一P-well的浮空或接地;所述势垒开关包括P-connect和第一源极P+区;所述P-connect形成于所述第一P-well表面,所述第一源极P+区形成于所述P-connect表面; 形成于所述N-CSL和第二P-well表面的栅极沟槽栅; 形成于所述N-CSL表面且位于所述栅极辅助沟槽栅和栅极沟槽栅之间的P-base; 形成于所述P-base表面的第一源极N+区和第二源极P+区; 分别形成于所述P-base和第二P-well表面的第二源极N+区,且所述第二源极N+区分布在所述栅极沟槽栅的两侧。
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