华海清科股份有限公司路新春获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种保持单元、晶圆搬运装置及其减薄设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120002522B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510146837.5，技术领域涉及：B24B27/00；该发明授权一种保持单元、晶圆搬运装置及其减薄设备是由路新春;刘殿生;靳凯强;慈荣广;刘远航设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种保持单元、晶圆搬运装置及其减薄设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种保持单元、晶圆搬运装置及其减薄设备。保持单元用于取放晶圆，包括支撑部件与依次叠放设置的固定法兰、转接法兰和密封法兰，支撑部件固定连接到固定法兰上，转接法兰和所述密封法兰固定连接；可伸缩地设置在支撑部件上的吸附垫；固定法兰和转接法兰通过限位弹簧的弹力紧靠在一起；还包括多个限位密封螺柱，每个限位密封螺柱一端通过螺纹固定在固定法兰，每个限位密封螺柱的另一端向密封法兰延伸并具有端头；转接法兰在每个限位密封螺柱的位置具有避让空间，每个限位密封螺柱的端头位于避让空间，通过使限位密封螺柱沿螺纹旋转调整限位密封螺柱在避让空间的长度。
本发明授权一种保持单元、晶圆搬运装置及其减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种保持单元，用于晶圆的取放，其特征在于，包括： 支撑部件与依次叠放设置的固定法兰、转接法兰和密封法兰，支撑部件固定连接到固定法兰上，转接法兰和密封法兰固定连接；密封法兰在背离转接法兰的一侧为密封端面；固定法兰和转接法兰利用限位弹簧的弹力紧靠在一起； 吸附垫，可伸缩地设置在支撑部件上； 多个限位密封螺柱，每个限位密封螺柱一端通过螺纹固定在固定法兰，另一端向密封法兰延伸并具有端头；转接法兰在每个限位密封螺柱的位置具有避让空间，每个限位密封螺柱的端头位于避让空间，通过使限位密封螺柱沿螺纹旋转调整限位密封螺柱在避让空间的长度； 密封法兰的密封端面设置有内侧密封圈和外侧密封圈，内侧密封圈和外侧密封圈之间设置有贯穿密封法兰的多个通气孔，每个通气孔与每个限位密封螺柱相对应，每个限位密封螺柱的端头能够封闭或是打开每个通气孔。
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