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广东汉岂工业技术研发有限公司方子韦获国家专利权

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龙图腾网获悉广东汉岂工业技术研发有限公司申请的专利新型等离子体检测分析装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120048721B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510177904.X,技术领域涉及:H01J49/42;该发明授权新型等离子体检测分析装置是由方子韦;尹和云;林杰设计研发完成,并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

新型等离子体检测分析装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种新型等离子体检测分析装置,包括离子抽取模块、瞬时采样模块、聚焦模块、四极杆区和信号收集模块,离子抽取模块连接于离子源,瞬时采样模块连接于离子抽取模块,聚焦模块连接于瞬时采样模块,四极杆区连接于聚焦模块,四极杆区包括两组电极,信号收集模块连接于四极杆区。通过采用相同的硬件结构,不同的电场操作和信号采集模式实现了3种离子分析应用;同时,在进行质谱能谱混合分析时,并未采用能量选择窗口来过滤掉不同能量的离子,而是利用飞行时间来区分离子的能量;对于不同初始能量的离子,只要通过了脉冲门皆会被测量计数,所以测量到的离子能谱真实地代表等离子体中离子的能谱,从而获得同时分析离子质量与能量的能力。

本发明授权新型等离子体检测分析装置在权利要求书中公布了:1.一种新型等离子体检测分析装置,其特征在于,包括离子抽取模块、瞬时采样模块、聚焦模块、四极杆区和信号收集模块,所述离子抽取模块连接于离子源,所述瞬时采样模块连接于所述离子抽取模块,所述聚焦模块连接于所述瞬时采样模块,所述四极杆区连接于所述聚焦模块,所述四极杆区包括两组电极,所述信号收集模块连接于所述四极杆区,所述离子抽取模块将所述离子源中的等离子体提取并引导到电场中, 在进行质谱分析的第一工作模式时,在所述瞬时采样模块上施加脉冲电压使得同一脉冲时间窗口内的不同能量的等离子体进入所述聚焦模块,在所述聚焦模块和所述四极杆区的两组电极上施加加速电压使得让不同质量的等离子体被加速聚焦后分别飞行到所述信号收集模块被收集,所述信号收集模块根据飞行时间计算离子质量; 在进行质谱分析的第二工作模式时,在所述瞬时采样模块和所述聚焦模块上施加直流低压使得所述等离子体自由飞行进入所述四极杆区,在所述四极杆区的两组电极上分别施加幅值相同但相位相反的直流电压U和射频电压V使预设质量范围内的等离子体被所述信号收集模块被收集; 在同时进行质谱分析和能量谱分析的第三工作模式时,在所述瞬时采样模块上施加脉冲电压使得同一脉冲时间窗口内的不同能量的等离子体进入所述聚焦模块,在所述聚焦模块上施加与所述四极杆区的中心电位相同的直流电压Vc,在水平方向的第一组电极上施加的电压为,在垂直方向的第二组电极上施加的电压为,所述不同能量的等离子体经所述聚焦模块进入所述四极杆区后沿所述四极杆区的轴向移动的同时在所述两组电极之间往复振荡运动进行过滤,使得在预设质量窗口内的等离子体被所述信号收集模块收集,所述信号收集模块根据飞行时间来分析离子能量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东汉岂工业技术研发有限公司,其通讯地址为:528300 广东省佛山市顺德区大良街道府又社区南国东路382号国创商贸大厦B座401之一(住所申报);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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