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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种多光束智能调焦激光隐形切割装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120115854B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510524992.6，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权一种多光束智能调焦激光隐形切割装置及方法是由王宣平;宋强;高航设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多光束智能调焦激光隐形切割装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及激光加工技术领域，特别涉及一种多光束智能调焦激光隐形切割装置及方法。一种多光束智能调焦激光隐形切割装置，包括有激光源、分束模块、焦点控制模块和晶圆扫描模块；所述的分束模块包括扩束装置、反射镜、衍射分光装置和准直镜组；所述激光源射出光束照射到扩束装置；所述扩束镜位于激光源与反射镜之间；本发明通过单次扫描能够实现多行多层同时切割，无需重复定位，可以极大的提高晶圆隐形切割效率，切割效率较传统单层工艺提升数倍。通过使用超快激光+多光束使能量分散，减少热影响区对晶圆的影响。本发明能够实时调整不同行激光焦点位置，兼容不同材料厚度与结构。

本发明授权一种多光束智能调焦激光隐形切割装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种多光束智能调焦激光隐形切割装置，其特征在于，包括有激光源1、分束模块、焦点控制模块和晶圆扫描模块10；焦点控制模块包括聚焦镜组8、深度感知单元、智能调节机构7； 所述的分束模块包括扩束装置2、反射镜3、衍射分光装置4和准直镜组6；所述激光源1射出光束照射到扩束装置2；所述扩束装置2位于激光源1与反射镜3之间；所述反射镜3位于衍射分光装置4上方与水平方向夹角为45°，用于将扩束装置2透出的光线反射至衍射分光装置4；所述衍射分光装置4将光线分束为多束光线后照射到准直镜组6；所述准直镜组6位于衍射分光装置4下方，将光束进行准直，准直后的光束入射到聚焦镜组8；所述聚焦镜组8位于准直镜组6下方且安装在智能调节机构7上，将光束聚焦在晶圆样件9上；所述晶圆扫描模块10位于底部；晶圆样件9位于晶圆扫描模块10和聚焦镜组8之间；深度感知单元包括二向色镜13、双频激光干涉仪11和CMOS图像传感器14，智能调节机构7包括压电陶瓷微位移平台和独立闭环驱动器；所述双频激光干涉仪11位于晶圆扫描模块10一侧，高度与晶圆样件9一致；所述二向色镜13位于准直镜组6与聚焦镜组8之间，所述CMOS图像传感器14接收二向色镜13光束； 所述衍射分光装置4将反射的激光分为N×M矩阵多光束5；矩阵多光束5照射在准直镜上； 所述的聚焦镜组8将多光束激光进行聚焦；所述深度感知单元基于晶圆表面拓扑扫描数据，自动生成焦点高度梯度分布曲线；所述智能调节机构7将每行对应独立的聚焦镜组8，通过压电陶瓷微位移平台调节镜组高度，使不同行聚焦透镜高度逐级递增； 通过双频激光干涉仪11和CMOS图像传感器14，实时获取焦点区域的深度信息，根据材料自动计算最佳焦深，脉冲重叠率动态调节。

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