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龙图腾网获悉合肥工业大学;无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司申请的专利一种四步相移微分干涉表面缺陷检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120161055B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510366972.0，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种四步相移微分干涉表面缺陷检测方法是由卢荣胜;江豪;陈光宇;张腾达设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种四步相移微分干涉表面缺陷检测方法在说明书摘要公布了：本发明属于表面损伤检测技术领域，具体涉及一种四步相移微分干涉表面缺陷检测方法。检测方法包括：搭建元器件表面损伤检测系统；开启激光源，根据待测样品规格，调节元器件表面损伤检测系统的检测参数；确定待测样品检测区域，开始本次检测：分别获取从检偏器射出的对应的四个干涉光光强；根据四个干涉光光强计算当前检测区域内第一位置点和第二位置点的相位差；根据相位差计算第一位置点和第二位置点的高度差H；若H≤H0，则当前检测区域不存在损伤，本次检测结束，若H＞H0，则当前检测区域存在损伤，记录当前损伤区域后，本次检测结束；其中，H0表示损伤阈值。本发明能够低成本，且准确、灵活高效地检测出元器件表面的损伤。

本发明授权一种四步相移微分干涉表面缺陷检测方法在权利要求书中公布了：1.一种四步相移微分干涉表面缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤： S1，搭建元器件表面损伤检测系统； 元器件表面损伤检测系统包括光源模块、椭圆偏振光模块、激光微分干涉模块、样品模块和检测模块，光源模块发出一束平行光，平行光经过椭圆偏振光模块后变成椭圆偏振光，椭圆偏振光经过激光微分干涉模块后被分解为P偏振光和S偏振光，P偏振光和S偏振光分别到达样品模块中待测样品11表面不同位置点后，沿原光路返回激光微分干涉模块后，途经激光微分干涉模块和椭圆偏振光模块后到达检测模块中，检测模块将P偏振光和S偏振光转化成一束干涉光，并获取干涉光的光强； 检测模块包括检偏器12和光电探测器13，检偏器12设置在第一分光棱镜4的第四出光口处，光电探测器13用于采集从检偏器12射出的干涉光光强； S2，开启激光源1，根据待测样品11规格，调节元器件表面损伤检测系统的检测参数； S3，确定待测样品11检测区域，开始本次检测：分别获取元器件表面损伤检测系统中检偏器12透光轴与Y轴之间的夹角为β1、β2、β3、β4时、从检偏器12射出的对应干涉光光强I1、I2、I3、I4；其中，0≤β1＜β2＜β3＜β4＜2π； S4，计算当前检测区域内第一位置点和第二位置点的相位差： =arctan； 其中，第一位置点和第二位置点分别表示第一S偏振光和第一P偏振光到达待测样品11表面的位置点； S5，计算第一位置点和第二位置点的高度差H： ； 若H≤H0，则当前检测区域不存在损伤，本次检测结束， 若H＞H0，则当前检测区域存在损伤，记录当前损伤区域后，本次检测结束； 其中，H0表示损伤阈值；λ表示激光源1发出的激光波长； S6，改变检测区域，回到S3，直至当前待测样品11表面所有区域均被检测为止，向技术人员反馈当前待测样品11的所有损伤区域。

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