华中科技大学陈建魁获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种气浮平台基板变形在线调控方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120162897B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510171247.8,技术领域涉及:G06F30/17;该发明授权一种气浮平台基板变形在线调控方法及系统是由陈建魁;孔德义;白坤;尹周平;谢明设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气浮平台基板变形在线调控方法及系统在说明书摘要公布了:本发明属于印刷显示相关技术领域,具体涉及一种气浮平台基板变形在线调控方法及系统,包括:实时同步采集预设的m个测点处基板飞高的变化数据;基于每个测点对应的飞高变化数据以及n个模态振型函数在该测点处的取值构建模态叠加方程;通过求解方程组得到采集时刻下各模态时间坐标集合;基于该集合以及n个模态振型函数在每个目标点处的取值,得到该目标点处基板飞高的变化数据,由此进行闭环控制;n个模态振型函数确定方式:将目标基板所覆盖的整体气膜看作弹性地基,通过拟合构建气膜刚度分布函数并结合满足边界条件的正交函数,得到气膜‑基板组件的质量矩阵和刚度矩阵,由此计算得到n个气膜‑基板组件的模态振型函数。本发明能在线调控。
本发明授权一种气浮平台基板变形在线调控方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种气浮平台基板变形在线调控方法,其特征在于,包括: 在喷墨打印过程中,实时同步采集预设的m个测点处基板飞高的变化数据;基于每个测点对应的飞高变化数据以及n个气膜-基板组件的模态振型函数在该测点处的取值,构建气膜-基板组件的模态叠加方程;基于所有测点的模态叠加方程,通过求解方程组,得到采集时刻t下各模态时间坐标集合η1t,η2t,...,ηnt;基于所述时间坐标集合以及n个模态振型函数在每个目标点处的取值,得到该目标点处基板飞高的变化数据; 基于所有目标点处基板飞高的变化数据进行闭环控制,实现气浮平台基板变形在线调控; 其中,n个模态振型函数是通过以下方式确定得到:将目标基板所覆盖的整体气膜看作弹性地基,通过拟合构建气膜刚度分布函数并结合满足边界条件的正交函数,得到气膜-基板组件的质量矩阵和刚度矩阵;基于质量矩阵和刚度矩阵计算得到n个气膜-基板组件的模态振型函数。
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