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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种远程等离子源水蒸气供应系统及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120264563B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510478124.9，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权一种远程等离子源水蒸气供应系统及其控制方法是由潘小刚;顾小军;束寅志;朱培文设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种远程等离子源水蒸气供应系统及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明属于等离子体技术领域，提供了一种远程等离子源水蒸气供应系统及其控制方法。该供应系统包括：水蒸气等离子体发生器包括阴极、中间级和阳极；水蒸气供气组件包括水泵、加热水箱，加热水箱的出气口与中间级和阳极之间连通，加热水箱内设有加热盘；传感器组件包括设置于加热水箱内液位传感器、温度传感器及设置于加热水箱出气口的水蒸气气体流量计；控制单元，获取传感器组件的实时数据，预测下一时刻的加热水箱内的液位高度与温度，并据此动态调节加热盘和水泵的开关状态。该供应系统根据实时数据预测出下一周期液位高度与水温，从而精确的控制加热盘与水泵的开通与关断时间，提高了水蒸气汽化效率，提升氧化铝层薄膜性能稳定性。

本发明授权一种远程等离子源水蒸气供应系统及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子源水蒸气供应系统，其特征在于，包括： 水蒸气等离子体发生器，包括阴极、中间级和阳极，三个电极间相互绝缘； 水蒸气供气组件，包括水泵、加热水箱，所述加热水箱的进水口与所述水泵连通，所述加热水箱的出气口与所述水蒸气等离子体发生器的所述中间级和阳极之间连通，所述加热水箱内设有加热盘； 传感器组件，包括液位传感器、温度传感器及水蒸气气体流量计，所述液位传感器、温度传感器设置于所述加热水箱内，所述水蒸气气体流量计设置于所述加热水箱的出气口； 控制单元，获取所述液位传感器、温度传感器及水蒸气气体流量计的实时数据，预测下一时刻的加热水箱内的液位高度与温度，并据此动态调节所述加热盘和水泵的开关状态； 其中，所述预测下一时刻的加热水箱内的液位高度与温度的方式如下： ； 其中，Tk+1为k+1时刻的加热水箱内的预测温度，Tk为k时刻的加热水箱内的实际温度，tk+1为k+1时刻的累计采样时间，tk为k时刻的累计采样时间，A为时变性温度因子，B为内腔温度变化速率的影响因子； ； ； 其中，Lk+1为k+1时刻的加热水箱内的预测液位高度，Lk为k时刻的加热水箱内的实际液位高度，P为加热盘的功率，ts为采样周期时间，为水的密度，S为加热室内腔底面积，C为水的比热容。

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