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龙图腾网获悉盐城市振弘电子材料厂申请的专利用于铌酸锂晶圆的复合改性材料获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120366733B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510563578.6，技术领域涉及：C23C16/34；该发明授权用于铌酸锂晶圆的复合改性材料是由徐国忠;周吉伟;徐国峰;徐振涛设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于铌酸锂晶圆的复合改性材料在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于铌酸锂晶圆的复合改性材料，本发明涉及纳米材料技术领域。该材料由抗蚀钝化基体和功能增强组分构成：抗蚀基体采用氮化硅SiO2多层复合层与原子层沉积二氧化钛、磁控溅射氧化铝形成级联保护；功能层包含硫化铅纳米颗粒及纳米二氧化硅，经硅烷偶联剂和全氟聚醚表面活性剂定向修饰。制备时通过PECVD‑ALD‑磁控溅射阶梯沉积工艺200‑150℃结合溶剂热法合成PbS纳米颗粒，最终经旋涂‑退火300‑400℃成型。该材料在1550nm波长下光损耗＜0.2dBcm，耐酸碱腐蚀＞240h，铅溶出率＜0.1ppm，界面态密度降低2个数量级，解决了铌酸锂晶圆表面退化、光电性能衰退与含铅材料环境风险的矛盾，适用于5G光波导和量子集成器件封装。

本发明授权用于铌酸锂晶圆的复合改性材料在权利要求书中公布了：1.一种用于铌酸锂晶圆的复合改性材料，其特征在于，以重量份计，抗蚀钝化基体材料：氮化硅SiO2多层复合层50-70份，单层厚度50-100nm；原子层沉积二氧化钛钝化薄膜20-30份，厚度≤80nm；氧化铝层，厚度≤10nm；功能增强材料：硫化铅纳米颗粒5-15份，粒径5-10nm；辅助组分：硅烷偶联剂2-5份，纳米二氧化硅3-8份，全氟聚醚表面活性剂0.5-1.5份；其中硅烷偶联剂为3-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、氨丙基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷或辛基三乙氧基硅烷；其中全氟聚醚表面活性剂为全氟聚醚羧酸、全氟聚醚醇或全氟聚醚酰氟；其制备方法如下：采用等离子体增强化学气相沉积技术，在清洁的铌酸锂晶圆表面交替沉积氮化硅和SiO2层；接着，使用原子层沉积技术，沉积二氧化钛钝化薄膜；在钝化薄膜的表面通过磁控溅射沉积氧化铝层；接着，通过溶剂热法合成硫化铅纳米颗粒，将硫化铅纳米颗粒分散于其重量5-10倍的乙醇溶液中，加入硅烷偶联剂与全氟聚醚表面活性剂，通过旋涂或浸涂将纳米二氧化硅均匀涂覆于氧化铝层表面并烘干，最后进行退火处理，温度300-400°C，时间30-60min，在惰性气体氛围中冷却至室温。

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