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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利电子探测装置、方法及电子显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120388877B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510883937.6，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权电子探测装置、方法及电子显微镜是由吕肃;陈子林;陈鲁设计研发完成，并于2025-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子探测装置、方法及电子显微镜在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电子探测装置、方法及电子显微镜，其中电子探测装置包括：沿电子束运动路径依次设置的第一张角调整部件、第二张角调整部件和探测器；第一张角调整部件用于调整穿过第一张角调整部件的背散射电子和二次电子的发散程度；第二张角调整部件用于调整穿过第二张角调整部件的二次电子的发散程度；探测器用于探测电子；控制器，分别与第一张角调整部件、第二张角调整部件电性连接，用于调整第一张角调整部件和第二张角调整部件的电压，以调整背散射电子和二次电子的发散角度，以致探测器单独探测背散射电子或二次电子。本发明能够对背散射电子和二次电子的发散程度进行调整，从而的探测器仅探测到背散射电子或二次电子。

本发明授权电子探测装置、方法及电子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种电子探测装置，其特征在于，其包括： 沿电子束运动路径依次设置的第一张角调整部件、第二张角调整部件和探测器； 所述第一张角调整部件用于调整穿过所述第一张角调整部件的背散射电子和二次电子的发散程度； 所述第二张角调整部件用于调整穿过所述第二张角调整部件的所述二次电子的发散程度； 所述探测器用于探测电子； 控制器，分别与所述第一张角调整部件、所述第二张角调整部件电性连接，用于调整所述第一张角调整部件和所述第二张角调整部件的电压，以调整所述背散射电子和所述二次电子的发散角度，以致所述探测器单独探测背散射电子或二次电子； 所述第一张角调整部件用于产生与电子运动路径垂直的径向发散电场，所述第二张角调整部件用于产生轴对称电场从而形成弱静电透镜；所述第一张角调整部件调整所述背散射电子和所述二次电子处于集中状态时，所述第二张角调整部件对处于集中状态的二次电子进行发散； 所述第一张角调整部件调整所述背散射电子和所述二次电子处于发散状态时，所述第二张角调整部件对处于发散状态的二次电子进行集中；所述探测器设置为环形且中心处设置有供集中状态的电子通过的中心孔，以致所述背散射电子集中而所述二次电子发散时探测到所述二次电子，或者是所述背散射电子发散而所述二次电子集中时探测到所述背散射电子。

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