中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))刘加豪获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))申请的专利晶圆的测试结构、测试晶圆和测试晶圆的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120388965B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510321454.7，技术领域涉及：H01L23/544；该发明授权晶圆的测试结构、测试晶圆和测试晶圆的制备方法是由刘加豪;马宁伟;陈义强;胡旻;赵昊;许星星;王之哲;陈方舟;何亮设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆的测试结构、测试晶圆和测试晶圆的制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆的测试结构、测试晶圆和测试晶圆的制备方法，该测试结构包括位于晶圆第一侧的测试部，以及位于所述测试部两端的两个测试端口；其中，所述测试部包括至少一条特征线和至少两条测试线，各所述测试线通过所述特征线首尾连接；所述特征线的宽度与所述测试线的宽度不同；各所述测试端口用于与时域反射设备连接，且用于接收所述时域反射设备发射的测试信号，并接收所述测试信号经所述特征线反射后形成的反射信号；其中，所述测试信号和所述反射信号共同用于确定所述特征线的电参数。通过本申请的测试结构，能够判断晶圆是否发生断裂失效。
本发明授权晶圆的测试结构、测试晶圆和测试晶圆的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的测试结构，其特征在于，包括：位于晶圆第一侧的测试部，以及位于所述测试部两端的两个测试端口；其中， 所述测试部包括至少一条特征线和至少两条测试线，各所述测试线通过所述特征线首尾连接；所述特征线的宽度与所述测试线的宽度不同； 各所述测试端口用于与时域反射设备连接，且用于接收所述时域反射设备发射的测试信号，并接收所述测试信号经所述特征线反射后形成的反射信号；其中，所述测试信号和所述反射信号共同用于确定所述特征线的电参数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))，其通讯地址为：511370 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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