合肥晶合集成电路股份有限公司张亚楠获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利机台偏移量测量方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120704079B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510935640.X，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权机台偏移量测量方法、装置、设备及介质是由张亚楠;胡连新;梅钰;王成成;张礼超设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本机台偏移量测量方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本公开涉及一种机台偏移量测量方法、装置、设备及介质，方法包括获取监测周期以及目标控片，目标控片包括至少一目标对准标记；控制待测机台根据监测周期测量目标对准标记的偏移量测量值，得到包括偏移量测量值及其测量时间的偏移量测量值时间序列；根据偏移量测量值时间序列确定待测机台上在制品的机台最佳补偿值时间序列，机台最佳补偿值时间序列包括偏移量测量值对应的最佳补偿值，以及对应的测量时间；根据机台最佳补偿值时间序列获取在制品在目标时刻的最佳目标补偿值。至少能够避免机台误差对后续工艺制程造成不良影响，提高机台的性能，以及制成半导体产品的电性能、良率。
本发明授权机台偏移量测量方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种机台偏移量测量方法，其特征在于，包括： 获取监测周期以及目标控片，所述目标控片包括至少一目标对准标记； 控制待测机台根据所述监测周期测量所述目标对准标记的偏移量测量值，得到包括所述偏移量测量值及其测量时间的偏移量测量值时间序列； 根据所述偏移量测量值时间序列确定所述待测机台上在制品的机台最佳补偿值时间序列，所述机台最佳补偿值时间序列包括所述偏移量测量值对应的最佳补偿值，以及对应的测量时间； 根据所述机台最佳补偿值时间序列获取所述在制品在目标时刻的最佳目标补偿值。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励