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泉州师范学院潘淼获国家专利权

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龙图腾网获悉泉州师范学院申请的专利一种p型氧化镓材料的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120749021B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511248986.9,技术领域涉及:H01L21/385;该发明授权一种p型氧化镓材料的制备方法是由潘淼;张海忠;陈文杰;周伯萌;吴丽双;吴恬盈;苏建志;黄志高;王锋设计研发完成,并于2025-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种p型氧化镓材料的制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体领域,本发明公开了一种p型氧化镓材料的制备方法,包括以下步骤:1在氧化镓表面沉积掺杂层;2将沉积掺杂层后的氧化镓置于保护气体氛围中,加热升温至处理温度;3达到处理温度后,通入氮等离子体,并用一维线条状激光对氧化镓进行辐照;4激光辐照处理结束后,关闭氮等离子体,在保护气体氛围中进行退火处理。本发明通过激光诱导掺杂的方式实现了p型氧化镓材料的制备,本发明制备工艺简单,生产成本低,有助于氧化镓器件的推广和应用。

本发明授权一种p型氧化镓材料的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种p型氧化镓材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1在氧化镓表面沉积掺杂层;所述掺杂层为锌薄膜、铜薄膜、镁薄膜、氧化锌薄膜、氧化铜薄膜、氧化镁薄膜中的一种; 2将沉积掺杂层后的氧化镓置于保护气体氛围中,加热升温至处理温度; 3达到处理温度后,通入氮等离子体,并用一维线条状激光对氧化镓进行辐照; 4激光辐照处理结束后,关闭氮等离子体,在保护气体氛围中进行退火处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人泉州师范学院,其通讯地址为:362000 福建省泉州市丰泽区东海大街398号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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