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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种化学机械研磨控制方法、控制装置、设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120755776B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511285166.7，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种化学机械研磨控制方法、控制装置、设备和存储介质是由朱会超;肖宇鸿;王文轩;孙玺茜设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学机械研磨控制方法、控制装置、设备和存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种化学机械研磨控制方法、控制装置、设备和存储介质，包括：获取任一研磨腔室的状态信息、当前任务信息和下一任务信息，根据研磨腔室的状态信息，确定研磨腔室是否处于等待状态，若研磨腔室处于等待状态，则根据研磨腔室的当前任务信息和下一任务信息，确定研磨腔室可处于等待状态的最大时长，并在研磨腔室处于等待状态的时长超过最大时长时，执行任务对象保护操作，该任务对象保护操作用于保护研磨腔室的任务对象，以使任务对象不被过度腐蚀，从而可以避免出现因研磨腔室处于等待状态的时长较长而导致该研磨腔室的任务对象被过度腐蚀的问题。

本发明授权一种化学机械研磨控制方法、控制装置、设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种化学机械研磨控制方法，其特征在于，包括： 获取任一研磨腔室的状态信息、当前任务信息和下一任务信息； 根据所述研磨腔室的状态信息，确定所述研磨腔室是否处于等待状态； 若所述研磨腔室处于等待状态，则根据所述研磨腔室的当前任务信息和下一任务信息，确定所述研磨腔室可处于等待状态的最大时长，并在所述研磨腔室处于等待状态的时长超过所述最大时长时，执行任务对象保护操作；所述任务对象保护操作用于保护所述研磨腔室的任务对象，以使所述任务对象不被过度腐蚀； 其中，所述根据所述研磨腔室的当前任务信息和下一任务信息，确定所述研磨腔室可处于等待状态的最大时长包括：根据所述研磨腔室的当前任务信息和下一任务信息，确定所述研磨腔室的当前任务对象和下一任务对象的类型是否相同；若所述研磨腔室的当前任务对象和下一任务对象的类型不同，则根据所述当前任务对象与所述下一任务对象的类型，确定所述研磨腔室可处于等待状态的最大时长；若所述研磨腔室的当前任务对象和下一任务对象的类型相同，则根据所述当前任务对象与所述下一任务对象的研磨参数，确定所述研磨腔室可处于等待状态的最大时长； 其中，所述研磨参数包括研磨步骤，所述根据所述当前任务对象与所述下一任务对象的研磨参数，确定所述研磨腔室可处于等待状态的最大时长包括：若所述当前任务对象与所述下一任务对象为同一产品片，且所述当前任务对象与所述下一任务对象的研磨步骤不同，则确定所述研磨腔室可处于等待状态的最大时长为第二最大时长；所述第二最大时长用于限定所述研磨腔室在同一产品片的不同研磨步骤之间的最大等待时长；若所述当前任务对象与所述下一任务对象为不同产品片，且所述当前任务对象与所述下一任务对象的研磨膜层不同，则确定所述研磨腔室可处于等待状态的最大时长为第三最大时长；所述第三最大时长用于限定所述研磨腔室在具有不同研磨膜层的产品片之间的最大等待时长；若所述当前任务对象与所述下一任务对象为同一批次的不同产品片，且所述当前任务对象与所述下一任务对象的研磨编号不同，则确定所述研磨腔室可处于等待状态的最大时长为第四最大时长；所述第四最大时长用于限定所述研磨腔室在同一批次的不同产品片之间的最大等待时长。

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