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龙图腾网获悉广东西北航空科技股份有限公司;汕头市西北航空科技有限公司申请的专利一种大装炉量炭盘沉积设备及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120796975B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511311831.5，技术领域涉及：C23C26/00；该发明授权一种大装炉量炭盘沉积设备及其制备方法是由陈贤海;李永宏;陈锐深;林海彬;陈霖;吴漫楠设计研发完成，并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大装炉量炭盘沉积设备及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种大装炉量炭盘沉积设备及其制备方法。包括以下方法：在沉积室内的炭源进气管上套入石墨底座、调节器、预制盘和石墨盖板，形成一柱预制工件；将若干柱预制工件依次装入沉积室内并保证间距；为沉积炉升温，并保持恒温；每一组炭源进气管的第一进气管通入天然气，第二进气管通入丙烯或丙烷，在混气罐进行混合和预热为混合炭源气体后，由沉积炉底部混气管道通入盖阖于该炭源进气管的预制工件内的沉积区；炭源气体在预制工件内经过滞留时间并反应后，通过预制工件外载气进气管所进入的氮气或氩气由通气孔处带走，排出沉积室。本发明通过对沉积工艺和装炉方式进行配套式改进，装入沉积炉的炭盘不采用复杂的炉内工装即可进行高效沉积。

本发明授权一种大装炉量炭盘沉积设备及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种大装炉量炭盘沉积设备，其特征在于：包括沉积炉、进气组件和预制工件； 所述沉积炉内部设有若干呈圆周阵列分布的发热体，所述沉积炉内设有沉积室； 所述进气组件包括炭源进气管和载气进气管，所述炭源进气管和载气进气管分别通过沉积炉底部管道连通沉积室； 所述预制工件为开口向下并放置在沉积室底部的筒状结构，所述预制工件内的沉积区盖阖于炭源进气管上，所述载气进气管位于预制工件外，所述沉积区通过预制工件上的通气孔与沉积室连通； 所述炭源进气管由第一进气管、第二进气管、混气罐和混气管道组成，所述第一进气管和第二进气管分别与混气罐连通，所述混气管道穿过沉积炉底部与沉积区连通； 每一组炭源进气管的第一进气管通入天然气，第二进气管通入丙烯或丙烷，在混气罐进行混合和预热为混合炭源气体后，由沉积炉底部混气管道通入盖阖于该炭源进气管的预制工件内的沉积区； 炭源气体在预制工件内经过滞留时间并反应后，通过预制工件外载气进气管所进入的氮气或氩气由通气孔处带走，排出沉积室。

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