江苏神州半导体科技有限公司潘小刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种考虑等离子体阻抗变化的功率变换系统特性优化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120812825B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511284601.4，技术领域涉及：H05H1/46；该发明授权一种考虑等离子体阻抗变化的功率变换系统特性优化方法是由潘小刚;彭一鹏;程康;朱国俊设计研发完成，并于2025-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种考虑等离子体阻抗变化的功率变换系统特性优化方法在说明书摘要公布了：本发明属于远程等离子体源技术领域，提供了一种考虑等离子体阻抗变化的功率变换系统特性优化方法，包括：建立解离腔室等离子体阻抗的等效模型，获取等离子体的等效电感；根据等离子体等效电感与谐振电感的关系，选取功率变换系统的最佳谐振拓扑，用以优化系统特性；所述系统特性通过谐振电流增益G进行表征。本发明提供的一种考虑等离子体阻抗变化的功率变换系统特性优化方法，提出了在不同等效电感条件下进行功率变换系统的拓扑结构选择，对于RPS在通入气体流量变化范围较大时，PCS功率因数低，开关管电流应力增大的问题，可根据不同负载情况选择合适的谐振变换器拓扑。
本发明授权一种考虑等离子体阻抗变化的功率变换系统特性优化方法在权利要求书中公布了：1.一种考虑等离子体阻抗变化的功率变换系统特性优化方法，其特征在于，包括： 建立解离腔室等离子体阻抗的等效模型，获取等离子体的等效电感； 根据所述等离子体等效电感与谐振电感的关系，选取功率变换系统的最佳谐振拓扑，用以优化系统特性；所述系统特性通过谐振电流增益G进行表征； 解离腔室等离子体阻抗的等效模型，基于解离腔室的等效电气模型建立；解离腔室的所述等效电气模型，包括： 变压器，和功率变换系统连接，所述变压器包括初级漏感、励磁电感和次级漏感； 等离子体阻抗R，和所述变压器的次级线圈连接； 等离子体阻抗R的等效模型为等效L-R模型，等离子体的等效电感和等效电阻分别为 ， 其中，为变压器的初级漏感，为变压器的次级漏感，为励磁电感，为交流信号频率，N为变压器的匝数，R为等离子体阻抗； 当等离子体阻抗R增加时，等效电感和等效电阻同步增加。
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