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吉林大学费腾获国家专利权

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龙图腾网获悉吉林大学申请的专利基于游标效应的高灵敏聚合物微环温湿度光波导传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120831185B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511332764.5,技术领域涉及:G01K11/00;该发明授权基于游标效应的高灵敏聚合物微环温湿度光波导传感器是由费腾;赵华跃;陈长鸣;于云龙;夏翊涵;刘森;张彤设计研发完成,并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。

基于游标效应的高灵敏聚合物微环温湿度光波导传感器在说明书摘要公布了:基于游标效应的高灵敏聚合物微环温湿度光波导传感器,属于平面光波导集成器件技术领域。由衬底层、聚合物下包层、聚合物刻槽层、聚合物电解质芯层、聚合物上包层组成。聚合物电解质芯层是跑道型MRR级联的光波导结构,由参考环、温度传感环、湿度传感环组成,聚合物电解质芯层材料能够吸附空气中的水分子,其中的自由离子浓度能随着湿度和温度变化而变化,进而材料折射率发生改变,本发明解决了现有温湿度传感器件集成度、灵敏性和抗干扰的不足,实现了超紧凑和超高灵敏的温湿度双模态传感,并且采用聚合物材料制备光波导器件具有柔韧性好、工艺简单、成本低和效率高等显著优势,适用于多种需要对环境精密控制或微小变化实时监测的场景。

本发明授权基于游标效应的高灵敏聚合物微环温湿度光波导传感器在权利要求书中公布了:1.一种基于游标效应的高灵敏聚合物微环温湿度光波导传感器,其特征在于:从下至上由衬底层1、聚合物下包层2、聚合物刻槽层3、聚合物电解质芯层4、聚合物上包层5组成,聚合物刻槽层3和聚合物电解质芯层4共同位于聚合物下包层2和聚合物上包层5之间;聚合物电解质芯层4为级联的跑道型微环谐振器平面光波导结构,由第一输入直波导8、第二输入直波导9、第一耦合直波导10、第二耦合直波导11、第一半圆波导12、第三耦合直波导14、第二半圆波导13、第一输出直波导15、第三输入直波导16、第四输入直波导17、第四耦合直波导18、第五耦合直波导19、第三半圆波导20、第一直波导22、第四半圆波导21、第二输出直波导23、第三输出直波导24、第二直波导25、第六耦合直波导26、第四输出直波导27、第五输入直波导28、第六输入直波导29、第七耦合直波导30、第三直波导31、第八耦合直波导32、第五半圆波导33、第九耦合直波导34、第六半圆波导36、第四直波导37、第十耦合直波导35、第五输出直波导38和第六输出直波导39组成;第一输入直波导8、第二输入直波导9、第一耦合直波导10、第一输出直波导15、第三输入直波导16、第四输入直波导17、第四耦合直波导18、第二输出直波导23、第三输出直波导24从左到右顺次连接组成下行直波导;第二直波导25、第六耦合直波导26、第四输出直波导27、第五输入直波导28、第六输入直波导29、第七耦合直波导30、第三直波导31从右到左顺次连接组成中间直波导;第四直波导37、第十耦合直波导35、第五输出直波导38、第六输出直波导39从左到右顺次连接组成上行直波导;第二耦合直波导11、第一半圆波导12、第三耦合直波导14、第二半圆波导13顺次环状连接组成跑道型微环谐振器结构的参考环;第五耦合直波导19、第三半圆波导20、第一直波导22、第四半圆波导21顺次环状连接组成跑道型微环谐振器结构的温度传感环;第八耦合直波导32、第五半圆波导33、第九耦合直波导34、第六半圆波导36顺次环状连接组成跑道型微环谐振器结构的湿度传感环;参考环和温度传感环位于下行直波导和中间直波导之间,湿度传感环位于中间直波导和上行直波导之间;按传感器从左到右的方向,湿度传感环设置在参考环的前面,参考环设置在温度传感环的前面;第一输入直波导8为光信号输入端口,第三输出直波导24为温度传感输出端口,第六输出直波导39为湿度传感输出端口;下行直波导、中间直波导、上行直波导、第二耦合直波导11、第三耦合直波导14、第五耦合直波导19、第一直波导22、第八耦合直波导32和第九耦合直波导34相互平行设置,第一耦合直波导10和第二耦合直波导11、第四耦合直波导18和第五耦合直波导19、第七耦合直波导30和第八耦合直波导32、第三耦合直波导14和第六耦合直波导26、第九耦合直波导34和第十耦合直波导35分别构成耦合结构;将湿度传感环所在区域上方的聚合物上包层5刻蚀掉,形成矩形凹槽结构的湿度传感窗口6,湿度传感窗口6和湿度传感环的对称中心重合设置,在湿度传感窗口6中暴露出大部分的第五半圆波导33和第六半圆波导36,而第八耦合直波导32和第九耦合直波导34则不暴露;在温度传感环所在区域上方的聚合物上包层5之上制备温度传感窗口7,温度传感窗口7为中间矩形和两端两个相同半圆的金属导热片组合结构,温度传感窗口7覆盖温度传感环中除第五耦合直波导19及少部分与第五耦合直波导19连接的第三半圆波导20和第四半圆波导21以外的所有其余波导;湿度传感窗口6长度方向的边平行于中间直波导,温度传感窗口7中间矩形的边平行于中间直波导。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人吉林大学,其通讯地址为:130012 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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