陕西新天地固体废物综合处置有限公司马琦获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西新天地固体废物综合处置有限公司申请的专利一种从半导体硅片加工切割液中回收硅粉的设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223570699U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423007731.7,技术领域涉及:B01J19/10;该实用新型一种从半导体硅片加工切割液中回收硅粉的设备是由马琦;范增华;侯俊丽;周江楠;刘梦云设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种从半导体硅片加工切割液中回收硅粉的设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种从半导体硅片加工切割液中回收硅粉的设备,包括工作台,所述工作台的底部对称安装有两组支撑腿,且工作台的顶部固定安装有固定架,并且工作台的底部一侧设置有控制器,还包括:所述工作台的顶部位于固定架下方固定安装有定位架,且工作台的底部中心固定安装有超声波发生器,并且固定架的下方设置有分离回收组件,而且定位架的内部与上方设置有定位组件,其中,所述分离回收组件包括设置在固定架内部上方的活动板。使得在对硅片切割之后,便于对切割液中的硅粉进行有效分离,回收硅粉,解决废切割液中硅粉分离难度大难回收、处置成本高,资源浪费问题。设备操作简单,提升了实用性。
本实用新型一种从半导体硅片加工切割液中回收硅粉的设备在权利要求书中公布了:1.一种从半导体硅片加工切割液中回收硅粉的设备,包括工作台1; 所述工作台1的底部对称安装有两组支撑腿101,且工作台1的顶部固定安装有固定架102,并且工作台1的底部一侧设置有控制器; 其特征在于,还包括: 所述工作台1的顶部位于固定架102下方固定安装有定位架103,且工作台1的底部中心固定安装有超声波发生器104,并且固定架102的下方设置有分离回收组件2,而且定位架103的内部与上方设置有定位组件3; 其中,所述分离回收组件2包括设置在固定架102内部上方的活动板201,且活动板201的一侧固定安装有螺纹套204,并且螺纹套204的内部螺纹连接有螺纹杆202,而且螺纹杆202的两端分别与固定架102和工作台1转动连接; 其中,所述固定架102的顶部一侧固定安装有驱动电机203,且驱动电机203的输出端穿过固定架102与螺纹杆202固定连接,并且活动板201的另一侧对称安装有活动套205,而且两个活动套205的内部均滑动连接有支撑杆206,且两个支撑杆206的两端分别与固定架102和工作台1固定连接。
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