苏州镁伽科技有限公司夏磊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州镁伽科技有限公司申请的专利一种标定结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223580927U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423238066.2,技术领域涉及:G01B9/04;该实用新型一种标定结构是由夏磊设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种标定结构在说明书摘要公布了:本申请提供一种标定结构,标定结构可以包括晶圆和晶圆上的标定标识,标定标识具有间隔排列的第一特征结构和第二特征结构,第一特征结构为晶圆上的第一膜层,第二特征结构为晶圆上的第二膜层,第一特征结构和第二特征结构的反射率不同,使第一特征结构和第二特征结构体现为不同颜色,从而可以从成像系统中区分第一特征结构和第二特征结构,在晶圆上形成标定标识,可以实现较小尺寸的标定标识,利于针对放大倍数较大的成像系统进行标定。
本实用新型一种标定结构在权利要求书中公布了:1.一种标定结构,其特征在于,所述标定结构包括晶圆和所述晶圆上的标定标识,所述标定标识具有间隔排列的第一特征结构和第二特征结构,所述第一特征结构为所述晶圆上的第一膜层,所述第二特征结构为所述晶圆上的第二膜层; 所述第一特征结构和所述第二特征结构的反射率不同,使所述第一特征结构和所述第二特征结构体现为不同颜色。
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