诺沃声波有限公司大卫·休斯获国家专利权
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龙图腾网获悉诺沃声波有限公司申请的专利压电器件的形成获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112088438B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980028976.0，技术领域涉及：H10N30/05；该发明授权压电器件的形成是由大卫·休斯;戴斯蒙德·吉布森;丹尼尔·欧文设计研发完成，并于2019-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电器件的形成在说明书摘要公布了：一种用于生产超声换能器或超声换能器阵列的方法，该方法包括：在衬底上设置或沉积压电材料层。压电材料是掺杂的、共沉积的或合金化的压电材料。压电材料包括：掺杂的、共沉积的或合金化的金属氧化物或金属氮化物，该金属氧化物或金属氮化物与钒或其化合物掺杂、共沉积或合金化；或者与过渡金属或其化合物掺杂、共沉积或合金化的氧化锌。可选地，压电材料层的沉积是通过例如使用包括掺杂或合金化的压电材料的溅射靶的溅射镀膜来实现的。在示例中，压电材料层使用高功率脉冲磁控溅射HIPIMS来沉积到衬底上。在压电材料层的沉积期间，可以使用衬底偏置例如DC和或RF来获得进一步的增强。在另外的示例中，衬底在沉积压电材料层时设置在转鼓上。
本发明授权压电器件的形成在权利要求书中公布了：1.一种生产用于成像、测量或非破坏性测试的柔性超声换能器或超声换能器阵列的方法，所述方法包括： 在包括金属箔的衬底上设置或沉积压电材料层；其中， 所述压电材料层具有在2μm至20μm范围内的厚度，所述衬底的厚度为20μm至200μm； 所述压电材料是掺杂的、共沉积的或合金化的压电材料；并且 所述压电材料包括： 掺杂的、共沉积的或合金化的金属氧化物或金属氮化物，所述金属氧化物或金属氮化物与钒或其化合物掺杂、共沉积或合金化；或者 与过渡金属或其化合物掺杂、共沉积或合金化的氧化锌。
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