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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利光学元件的支撑获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113424105B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080012806.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光学元件的支撑是由E.安塞尔姆;K.芬克尔;C.米勒;R.莫泽设计研发完成，并于2020-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本光学元件的支撑在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于微光刻、特别是用于使用极紫外EUV范围内的光的成像装置的光学装置，其包括光学元件109和用于保持光学元件109的保持装置110。光学元件109包括光学表面109.1并且限定主延伸的平面，其中光学元件109限定径向方向和周向方向。保持装置110包括基底元件110.1和多于三个分离保持单元110.2，其中保持单元110.2连接到基底元件110.1并且以沿周向方向分布且彼此间隔开的方式布置。保持单元110.2相对于基底元件110.1保持光学元件109，在此，每个保持单元110.2在光学元件109与基底元件110.1之间建立夹持连接，所述夹持连接与其他保持单元110.2的夹持连接分开。

本发明授权光学元件的支撑在权利要求书中公布了：1.一种微光刻的成像装置的光学布置，包括： -光学元件109，和 -保持装置110，用于保持所述光学元件109， 其中， -所述光学元件109包括光学表面109.1并且限定主延伸的平面，其中所述光学元件109限定径向方向和周向方向， -所述保持装置110包括基底元件110.1和多于三个分离的保持单元110.2， -所述保持单元110.2连接到所述基底元件110.1且以沿所述周向方向分布且彼此间隔开的方式布置，并且 -所述保持单元110.2相对于所述基底元件110.1保持所述光学元件109， 其特征在于， -所述保持单元110.2中的每一个在所述光学元件109与所述基底元件110.1之间建立夹持连接，所述夹持连接与其他保持单元110.2的夹持连接分开， 其中， -所述保持单元110.2中的至少一个包括第一夹持单元110.3、110.5和与所述第一夹持单元110.3、110.5分开的第二夹持单元110.4、110.6， -所述第一夹持单元110.3、110.5和所述第二夹持单元110.4、110.6各自在分离位置处连接到所述基底元件110.1， -所述第一夹持单元110.3、110.5和所述第二夹持单元110.4、110.6彼此支承以建立所述夹持连接，并且 -所述光学元件109的接口部分109.3被夹持在所述第一夹持单元110.3、110.5与所述第二夹持单元110.4、110.6之间，并且 -所述第一夹持单元的第一夹持元件110.3和所述第二夹持单元的第二夹持元件110.4通过张紧元件111相对于彼此支承以建立所述夹持连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司，其通讯地址为：德国上科亨；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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