东京应化工业株式会社山野仁诗获国家专利权
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龙图腾网获悉东京应化工业株式会社申请的专利信息处理系统、信息处理装置、学习装置、信息处理方法、学习方法以及程序获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114245923B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080055346.5,技术领域涉及:G16C60/00;该发明授权信息处理系统、信息处理装置、学习装置、信息处理方法、学习方法以及程序是由山野仁诗;江口辽平;佐藤真;清水宏明设计研发完成,并于2020-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本信息处理系统、信息处理装置、学习装置、信息处理方法、学习方法以及程序在说明书摘要公布了:信息处理系统,其具备:存储部,其存储将表示组合物的材料的材料信息、使用所述组合物的规定工艺中的工艺条件与通过所述工艺得到的组合物的性能信息赋予关联的对应信息;性能推定部,其基于输入的所述材料信息、所述工艺条件和所述对应信息,取得所述性能信息;以及输出部,其输出所述性能信息。
本发明授权信息处理系统、信息处理装置、学习装置、信息处理方法、学习方法以及程序在权利要求书中公布了:1.信息处理系统,其具备: 存储部,其存储对应信息,所述对应信息是将表示组合物的材料的材料信息及使用所述组合物的工艺中的工艺条件与通过所述工艺得到的组合物的性能信息赋予关联的信息; 性能推定部,其根据输入的所述材料信息、所述工艺条件和所述对应信息取得所述性能信息;以及 输出部,其输出所述性能信息, 所述组合物为用于对象物的图案化的抗蚀剂,所述性能信息表示所述组合物用于所述图案化的情况下的性能, 所述存储部将第1对应信息和第2对应信息作为所述对应信息进行存储, 所述第1对应信息是将所述材料信息及所述工艺条件、与表示所述工艺条件的工艺中的所述抗蚀剂的物性的物性信息赋予关联的信息, 所述第2对应信息是将所述材料信息、所述工艺条件及所述物性信息与所述性能信息赋予关联的信息, 所述性能推定部基于输入的所述材料信息及所述工艺条件和所述第1对应信息输出所述物性信息,基于输出的该物性信息、所述材料信息及所述工艺条件和所述第2对应信息,取得所述性能信息。
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