深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利检测方法及装置、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114299049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111667201.3，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权检测方法及装置、电子设备和存储介质是由陈鲁;耿亚鹏;陈驰;赵燕;张嵩设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本检测方法及装置、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请实施方式的检测方法包括根据待测件的分割区域中，任一待测区域的翘曲程度，调整待测件和传感器的相对角度，以使得待测区域垂直于传感器的光轴，待测件包括多个分割区域，分割区域包括多个待测区域；通过传感器采集分割区域中每个待测区域的采集图像；拼接多个待测区域的采集图像，以生成分割图像；及拼接多个分割图像以生成待测件的检测图像。检测方法及装置、电子设备和非易失性计算机可读存储介质，通过划分分割区域，根据分割区域任一待测区域的翘曲程度调整待测件和传感器的相对角度，采集图像的质量较高，调整次数较少，提高了采集图像的拼接准确性，且先拼接采集图像，再拼接分割图像，拼接误差的累积量和处理量较小。
本发明授权检测方法及装置、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种检测方法，其特征在于，包括： 根据待测件的分割区域中，任一待测区域的翘曲程度，调整所述待测件和传感器的相对角度，以使得所述待测区域垂直于传感器的光轴，所述待测件包括多个所述分割区域，所述分割区域包括多个所述待测区域； 通过所述传感器采集所述分割区域中每个所述待测区域的采集图像； 拼接多个所述待测区域的所述采集图像，以生成分割图像；及 拼接多个分割图像以生成所述待测件的检测图像，以根据所述检测图像对所述待测件进行检测； 所述待测件为晶圆，所述待测件的每个最小重复单元作为一个所述待测区域； 所述拼接多个所述待测区域的所述采集图像，以生成分割图像，包括： 识别所述采集图像中与所述待测区域对应的待测图像区域；及 拼接多个所述采集图像中的所述待测图像区域，以生成所述分割图像。
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