普罗-2000有限公司赵浚秀获国家专利权
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龙图腾网获悉普罗-2000有限公司申请的专利测试晶圆的探针卡获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114487516B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111242497.4,技术领域涉及:G01R1/073;该发明授权测试晶圆的探针卡是由赵浚秀设计研发完成,并于2021-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本测试晶圆的探针卡在说明书摘要公布了:公开了一种用于测试晶圆的探针卡。所述探针卡包括基板和块,所述块包括绝缘部和设置在所述绝缘部上的导电部。其中所述绝缘部包括通孔和与待测物体接触的探针。所述导电部包括电连接至所述基板的触点以及穿过所述通孔并将触点电连接至探针的导电图案。多个这样的探针之间的间距小于多个这样的触点之间的间距。所述块包括多个单位块。所述多个单位块每个包括所述绝缘部和所述导电部,并且所述单位块的绝缘部的至少部分布置为彼此间隔开。
本发明授权测试晶圆的探针卡在权利要求书中公布了:1.一种用于测试晶圆的探针卡,所述探针卡包括: 基板;和 块,所述块包括绝缘部和设置在所述绝缘部上的导电部, 其中所述绝缘部包括通孔和与待测物体接触的探针, 其中所述导电部包括电连接至所述基板的触点和穿过所述通孔并将所述触点电连接至所述探针的导电图案, 其中多个这样的探针之间的间距小于多个这样的触点之间的间距, 其中所述块包括多个单位块,并且 其中所述多个单位块每个包括所述绝缘部和所述导电部,并且所述单位块的绝缘部的至少部分布置为彼此间隔开, 其中在所述块中,具有条形的所述单位块在第一方向上以一定间隔布置, 其中所述单位块包括主体和在所述第一方向上从所述主体分叉的多个延伸部,并且 其中所述探针设置于所述主体和所述多个延伸部上。
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