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龙图腾网获悉上海埃延半导体有限公司申请的专利一种多路比例配气设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116607127B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310513575.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种多路比例配气设备是由丁欣设计研发完成，并于2023-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多路比例配气设备在说明书摘要公布了：本发明半导体设备技术领域，提出一种多路比例配气设备，包括：进气装置，其被配置将反应气体运送至节流孔处；多个节流孔，其第一侧与进气装置连接，第二侧与反应腔体连接，其中所述节流孔被配置为调节开口面积以调节通过所述节流孔的反应气体的质量流量；以及反应腔体，其中反应气体通过所述节流孔进入所述反应腔体以进行反应。该设备可以实现真正的比例流量控制，使调节工艺的再现性、重复性大大提高。并且不需要控制喷口上游的背压，去掉了多个MFC的背压约束，管道的压降ΔPi自然形成，避免了过约束的产生。

本发明授权一种多路比例配气设备在权利要求书中公布了：1.一种多路比例配气设备，其特征在于，包括： 进气装置，其被配置将反应气体运送至节流孔处； 多个节流孔，其第一侧与进气装置连接，第二侧与反应腔体连接，其中所述节流孔被配置为调节开口面积以调节通过所述节流孔的反应气体的质量流量，其中所述多个节流孔的第一侧以及第二侧共通； 反应腔体，其中反应气体通过所述多个节流孔进入所述反应腔体以进行反应； 第一压力传感器，其被配置为测量所述节流孔的第一侧的压力； 第二压力传感器，其被配置为测量所述节流孔的第二侧的压力；以及 控制单元，其被配置为控制多路比例配气设备，其中通过电信号控制所述多个节流孔的开口面积， 其中对于阻塞流，所述控制单元被配置为根据下式确定通过第i个节流孔的流量Qi： Qi＝C×PUPi， 其中，C表示第一相关系数、PUPi表示第i个节流孔的第一侧的压力，其中第一相关系数C与i个节流孔的开口面积Ai正相关；和\或 对于非阻塞流，所述控制单元被配置为根据下式确定通过第i个节流孔的流量Qi： 其中，C'表示第二相关系数、Ai表示第i个节流孔的开口面积、PDOWNi表示第i个节流孔的第二侧的压力、R表示普适气体常数、T表示温度、M表示分子质量、γ表示比热容比，其中第二相关系数C'是常数。

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