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龙图腾网获悉江苏博睿光电股份有限公司;博睿光电(马鞍山)有限公司申请的专利磁控溅射组合装置及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116904951B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311114259.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权磁控溅射组合装置及设备是由何锦华;王兢;梁超;秦福林;梁月设计研发完成，并于2023-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射组合装置及设备在说明书摘要公布了：本公开的实施例提供一种磁控溅射组合装置及设备，所述磁控溅射组合装置包括柱状靶材组件和至少一个平面靶材组件；所述柱状靶材组件包括设有中空腔室的旋转靶材以及分设于所述中空腔室内的多个第一磁体；所述平面靶材组件包括两边侧分别设有容置腔室的固定靶材以及设于所述容置腔室内的第二磁体；其中，所述平面靶材组件沿所述柱状靶材组件的周向设置，所述固定靶材的溅射面与所述旋转靶材的溅射面相对应。通过所设置的柱状靶材组件和平面靶材组件的组合利用，能够有效提高靶材利用率以及产品两面镀膜速率。

本发明授权磁控溅射组合装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射组合装置，其特征在于，所述磁控溅射组合装置包括柱状靶材组件和至少一个平面靶材组件； 所述柱状靶材组件包括设有中空腔室的旋转靶材以及分设于所述中空腔室内的多个第一磁体； 所述平面靶材组件包括两边侧分别设有容置腔室的固定靶材以及设于所述容置腔室内的第二磁体；其中， 所述平面靶材组件沿所述柱状靶材组件的周向设置，所述固定靶材的溅射面与所述旋转靶材的溅射面相对应； 所述第一磁体设置为复数数量；各所述第一磁体以所述中空腔室的轴线为中心线，相互对称地分布于所述中空腔室内，以使得各所述第一磁体产生的磁感线面平行于所述旋转靶材的溅射面，以及各所述第一磁体产生的磁感线均匀分布于所述旋转靶材； 所述第二磁体包括多个第二子磁体；所述多个第二子磁体沿所述容置腔室的轴向间隔设置，所述多个第二子磁体的轴线平行于所述固定靶材的轴线，以使得各所述第二子磁体产生的磁感线面平行于所述固定靶材的溅射面； 所述磁控溅射组合装置还包括用于挂设被溅射产品的工作架；所述工作架可旋转地套设于所述柱状靶材组件，所述工作架的旋转方向与所述柱状靶材组件的旋转靶材的旋转方向相反。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏博睿光电股份有限公司;博睿光电(马鞍山)有限公司，其通讯地址为：211103 江苏省南京市江宁区秣陵街道醴泉路69号5栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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