清华大学;北京华睿新能动力科技发展有限公司徐宏获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学;北京华睿新能动力科技发展有限公司申请的专利一种粗糙度的测量方法、测量装置及相关设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116934651B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210327276.5，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权一种粗糙度的测量方法、测量装置及相关设备是由徐宏;何向明;胡子昱设计研发完成，并于2022-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种粗糙度的测量方法、测量装置及相关设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种粗糙度的测量方法、测量装置及相关设备，其中方法包括：获取光刻图案的图像；基于所述光刻图案的图像，确定光刻图案的边缘位置数据；将所述边缘位置数据转换为实际位置数据，所述实际位置数据与所述光刻图案的实际尺寸相对应；根据所述实际位置数据，计算得到所述光刻图案的粗糙度。本申请实施例能够提高粗糙度的测量准确度。
本发明授权一种粗糙度的测量方法、测量装置及相关设备在权利要求书中公布了：1.一种粗糙度的测量方法，其特征在于，包括： 获取光刻图案的图像； 基于所述光刻图案的图像，确定所述光刻图案的边缘位置数据； 将所述边缘位置数据转换为实际位置数据，所述实际位置数据与所述光刻图案的实际尺寸相对应； 根据所述实际位置数据，计算得到所述光刻图案的粗糙度； 其中，所述基于所述光刻图案的图像，确定所述光刻图案的边缘位置数据，包括： 基于所述光刻图案的图像，获取第一阈值组对应的边缘图像，其中，所述第一阈值组用于确定光刻图案的图像中的边缘图像，所述第一阈值组包括高阈值和低阈值；所述高阈值与低阈值是可调的；当光刻图案的图像存在底部噪声时，先调整第一阈值组中的高阈值的数值、低阈值的数值或者高阈值与低阈值之间的比例，以滤除图像噪声； 确定所述边缘图像中的边缘与所述光刻图案的图像的边缘是否一致，若是，则以所述边缘图像对应的边缘位置数据为所述光刻图案的边缘位置数据； 若否，则梯段性调整所述第一阈值组，确定调整后的第二阈值组，以所述第二阈值组为第一阈值组，获取所述第一阈值组对应的边缘图像，直到所述边缘图像中的边缘与所述光刻图案的图像的边缘一致，以所述边缘图像对应的边缘位置数据为边缘位置数据。
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