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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种溅射用氧化亚铜靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117070906B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311255668.6，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种溅射用氧化亚铜靶材及其制备方法和应用是由谢小林;张世翔;潘泓羽;文崇斌设计研发完成，并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溅射用氧化亚铜靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于溅射靶材技术领域，公开了一种溅射用氧化亚铜靶材及其制备方法和应用。所述靶材制备方法为：将氧化亚铜粉末在120～150℃真空去气后装入石墨模具中，冷压至5～10MPa，然后在真空条件下升温至780～820℃保温处理，再加压至30～50MPa保温保压处理，保温保压时间结束后，随炉冷却至室温，脱模，得到氧化亚铜靶坯；对所得氧化亚铜靶坯进行铣面处理，得到溅射用氧化亚铜靶材。本发明的制备方法采用氧化亚铜粉末经真空脱气后装模热压烧结得到，具有操作简单、成本低的优点。并且通过此方法所制备的氧化亚铜靶材的相对密度高，晶型单一，符合溅射靶要求。

本发明授权一种溅射用氧化亚铜靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种溅射用氧化亚铜靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤： 1将氧化亚铜粉末在120~150℃真空去气后装入石墨模具中； 2将步骤1的氧化亚铜粉末冷压至5~10MPa，然后在真空条件下升温至780~820℃保温处理，再加压至30~50MPa保温保压处理，保温保压时间结束后，随炉冷却至室温，脱模，得到氧化亚铜靶坯； 3对步骤2所得氧化亚铜靶坯进行铣面处理，得到溅射用氧化亚铜靶材； 步骤1中所述氧化亚铜粉末的D90粒径要求为＜20μm； 步骤1中所述真空去气的步骤为：将氧化亚铜粉末放入干净的氧化铝坩埚中，然后放入真空炉中，抽真空至小于10Pa，以2~10℃min的速率升温至120~150℃，保温1~5h，然后随炉冷却至室温； 步骤2中所述升温的速率为5~10℃min；所述保温处理的时间为0.5~3h；所述保温保压处理的时间为1~5h；所述加压至30~50MPa是指以0.1~0.6MPamin的加压速率加压至30~50MPa。

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