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龙图腾网获悉苏州瓴辉光电科技有限公司申请的专利一种自带散热和约束型磁控溅射靶获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117070907B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310946227.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种自带散热和约束型磁控溅射靶是由缪同群;谢圣鸣设计研发完成，并于2023-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自带散热和约束型磁控溅射靶在说明书摘要公布了：本发明涉及自带散热和约束型磁控溅射靶，其包括壳体、靶材、磁力件、极板、气体流道，其中靶材架设在极板上，磁力件为电磁铁线圈，磁控溅射靶还包括绝缘垫、第一散热部件、第二散热部件、以及约束圆筒。本发明一方面能够实现磁场强度的可调，以满足不同溅射需求实用性腔，同时不仅能够提升靶材的利用率，而且规避了常规溅射靶磁场不均匀，无凹坑产生；另一方面环形气流向下自靶材的中部由内向外水平贴合溅射表面由内侧向外侧四周均匀分散实施均匀溅射，不会导致靶材出现部分有效，其他地方都无效的问题；第三方面，不仅能够实施内部部件有效散热，而且通过约束圆筒约束以形成空心阴极效应提高放电效率，结构简单、拆装方便。

本发明授权一种自带散热和约束型磁控溅射靶在权利要求书中公布了：1.一种自带散热和约束型磁控溅射靶，其包括壳体、靶材、磁力件、极板、气体流道，其特征在于：所述靶材安装于所述壳体顶部的敞开口、并架设在所述极板上，所述磁力件为电磁铁线圈，且通过安装座架设在所述壳体底部内壁，所述磁控溅射靶还包括用于将所述安装座与所述极板绝缘隔开的绝缘垫、隔设在所述绝缘垫和所述极板之间的第一散热部件、用于对所述电磁铁线圈进行散热的第二散热部件、以及安装在所述壳体的敞开口端部的约束圆筒，其中所述气体流道包括自下而上依次穿过所述壳体、电磁铁线圈、安装座、绝缘垫、第一散热部件、极板、靶材的流道本体；设置在所述流道本体顶部的分流座，其中所述的流道本体内部形成直流孔，所述分流座内部形成自中心向外侧敞开且与所述直流孔顶部连通的均流通道，溅射时，电磁铁线圈所形成的磁力线被引导，且位于所述溅射表面的磁力线与所述溅射表面平行，工作气体通过直流孔后自所述均流通道的中心向四周均流分散至所述靶材的溅射表面，分散气流呈环状且内径逐渐变大向下扩散后沿着所述靶材的溅射表面由内侧向外侧四周均匀散开，所述约束圆筒形成空心阴极效应。

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