先导薄膜材料(广东)有限公司谭洪蕾获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117185779B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311126802.2，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法是由谭洪蕾;邵学亮;李开杰;顾德胜;张兴宇设计研发完成，并于2023-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体及氧化物靶材技术领域，公开了一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法。所述制备方法包括如下步骤：将TiO2、Ta2O5、CeO2、In2O3粉末与分散剂、粘结剂和去离子水加入到球磨罐中进行湿法球磨，得到混合浆料；将混合浆料经干燥、粉碎、过筛，然后在空气气氛及600～800℃温度下煅烧处理，压制成型，得到靶坯；再将靶坯放入真空设备中进行抽真空处理和充氧处理至压力为60～100KPa，将处理后的靶材升温至1450～1500℃进行烧结处理，得到高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材。本发明通过在烧结之前对靶坯进行抽真空处理和一定压力的充氧处理，可以显著提高靶材相对密度、抗弯强度和迁移率。
本发明授权一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤： 1将TiO2、Ta2O5、CeO2、In2O3粉末与分散剂、粘结剂和去离子水加入到球磨罐中进行湿法球磨，得到混合浆料；各氧化物粉末加入的摩尔比In3:TiO2:Ta5:CeO=81~87:2~8:1~3:5~11； 2将步骤1所得混合浆料经干燥、粉碎、过筛，然后在空气气氛及600~800℃温度下煅烧处理，压制成型，得到靶坯； 3将步骤2所得靶坯放入真空设备中进行抽真空处理，再进行充氧处理至压力为60~100KPa；所述抽真空处理使真空度达到10-4~10-3Pa；所述充氧处理的氧气纯度不低于99.99%，含水量小于5ppm；充氧处理的保持时间为30~60min； 4将步骤3处理后的靶材放入烧结炉中，升温至1450~1500℃在常压空气条件下进行烧结处理，得到高致密氧化铟掺杂铈钛钽靶材。
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