先导薄膜材料(广东)有限公司张兴宇获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种低电阻、高迁移率的氧化铟掺杂靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117209255B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311193287.X，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种低电阻、高迁移率的氧化铟掺杂靶材及其制备方法是由张兴宇;邵学亮;李开杰;顾德盛;罗斯诗设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低电阻、高迁移率的氧化铟掺杂靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及靶材生产技术领域，公开了一种低电阻、高迁移率的氧化铟掺杂靶材，所述靶材中的金属元素由铟、钛、钬、铈组成；所述铟、钛、钬、铈的摩尔比为92.4～95.2:3～4:0.7～0.9:1.5～1.8；所述靶材通过含氧化铟粉末、氧化钛粉末、氧化钬粉末、氧化铈粉末的靶材前驱体经过脱脂操作和富氧烧结操作制备得到；所述脱脂操作的工艺参数为：脱脂温度为500～600℃，氧气压力为0.02～0.05MPa；所述富氧烧结操作的工艺参数为：烧结温度为1300～1550℃，氧气压力为0.09～0.12MPa。
本发明授权一种低电阻、高迁移率的氧化铟掺杂靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种低电阻、高迁移率的氧化铟掺杂靶材，其特征在于，所述靶材中的金属元素由铟、钛、钬、铈组成；所述铟、钛、钬、铈的摩尔比为93.3～94.5:3.2～4:0.7～0.9:1.5～1.8； 所述靶材的制备方法具体为：将氧化铟粉末、氧化钛粉末、氧化钬粉末、氧化铈粉末于水中分散、研磨并干燥后得到混合粉末；将混合粉末经过模压和冷等静压处理后得到靶材前驱体，将靶材前驱体进行加热脱脂、富氧烧结即可； 所述脱脂操作的工艺参数为：脱脂温度为500～600℃，氧气压力为0.02～0.05MPa，保温时间为10～15h，升温速率为0.3～0.6℃min； 所述富氧烧结操作的工艺参数为：烧结温度为1300～1550℃，氧气压力为0.09～0.12MPa；富氧烧结的升温速率为0.3～2℃min，保温时间为4～12h。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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