先导薄膜材料(广东)有限公司罗斯诗获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种高纯度氧化铟铈钽钬靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117209256B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311193924.3，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种高纯度氧化铟铈钽钬靶材及其制备方法是由罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高纯度氧化铟铈钽钬靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及靶材生产技术领域，公开了一种高纯度氧化铟铈钽钬靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：按照摩尔比In:Ce:Ta:Ho＝90～94:0.8～1.2:4～6:1.2～2.8的比例称取铟、铈、钽、钬的可溶性金属盐，溶解于去离子水中；步骤2：在步骤1的混合物中加入沉淀剂尿素并混合；步骤3：将步骤2的混合物置于密闭容器中在190～200℃的条件下加热，加热结束后分离得到前驱体粉末；步骤4：将前驱体粉末进行煅烧、成型操作后得到氧化铟铈钽钬靶材。该靶材中铟的含量相对较低，结合铈钽钬的使用，有利于控制较高的电导率，同时通过湿法沉淀工艺可以有效保持靶材的纯度，这也是电导率提高的一个重要因素。同上，本发明还公开了该靶材。
本发明授权一种高纯度氧化铟铈钽钬靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高纯度氧化铟铈钽钬靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：按照摩尔比In:Ce:Ta:Ho=90～94:0.8～1.2:4～6:1.2～2.8的比例称取铟、铈、钽、钬的可溶性金属盐，溶解于去离子水中； 步骤2：在步骤1的混合物中加入沉淀剂尿素并混合； 步骤3：将步骤2的混合物置于密闭容器中在190～200℃的条件下加热，加热结束后分离得到前驱体粉末； 步骤4：将前驱体粉末进行煅烧，将煅烧后的粉末经过干压和冷等静压后，得到靶坯，对所得靶坯进行热处理脱脂；然后冷却至室温后，通入氧气，升温至烧结温度进行烧结，得到氧化铟铈钽钬靶材；所述烧结温度为1100～1500℃。
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