先导薄膜材料(广东)有限公司罗斯诗获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种高密度靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117209257B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311197644.X，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种高密度靶材及其制备方法是由罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高密度靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种高密度靶材的制备方法，在真空环境下，将靶材前驱体、钛粉置于同一环境中且相互不接触，升温烧结得到靶材；所述靶材前驱体在烧结时悬空布置；所述靶材的相对密度大于99％，绝对密度等于或大于7.1gcm3。本发明的方法适用于相对密度为99％的高密度靶材，可有效提高氧空位，同时防止靶材翘曲。
本发明授权一种高密度靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高密度靶材的制备方法，其特征在于，在真空环境下，将靶材前驱体、钛粉置于同一环境中且相互不接触，升温烧结得到靶材； 所述靶材前驱体在烧结时悬空布置；所述靶材为氧化铟锡靶材，所述靶材的相对密度大于99%，绝对密度等于或大于7.1gcm3； 所述靶材前驱体中氧化铟、氧化锡的摩尔比为96～99：1～4； 烧结温度为1400～1600℃，保温时间10～12h； 烧结时，升温速度为0.5～1.5℃min； 所述悬空布置通过承托支架将靶材前驱体悬空布置，以使靶材前驱体的底面脱离环境的壁。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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