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捷螺智能设备(苏州)有限公司洪成都获国家专利权

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龙图腾网获悉捷螺智能设备(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆储存盒仓储用自动化存取一体柜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117246669B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311286547.8,技术领域涉及:B65G1/04;该发明授权一种晶圆储存盒仓储用自动化存取一体柜是由洪成都;徐伟峰;吴楷浚设计研发完成,并于2023-10-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆储存盒仓储用自动化存取一体柜在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶圆储存盒仓储用自动化存取一体柜,包括柜体、进料机构、搬运机构和氮气供应机构,所述进料机构设置于柜体正面,所述进料机构包括进料箱,所述进料箱一端与柜体固定连接,所述进料箱内部开设有一号腔室和二号腔室,所述一号腔室设置于二号腔室正上方,所述一号腔室一侧与柜体内部相连通,所述一号腔室内部安装有一号输送机,所述柜体内部安装有二号输送机,所述二号输送机一端延伸至一号腔室内部。本发明通过进料机构和搬运机构的配合,方便在封闭的柜体内部对晶圆料盒进行自动存取,进料机构上设置有封堵板和真空泵,方便对腔室进行封闭并抽离空气,可避免外界空气进入柜体内部,有利于提高对晶圆的保护。

本发明授权一种晶圆储存盒仓储用自动化存取一体柜在权利要求书中公布了:1.一种晶圆储存盒仓储用自动化存取一体柜,包括柜体1、进料机构、搬运机构和氮气供应机构,其特征在于:所述进料机构设置于柜体1正面,所述进料机构包括进料箱2,所述进料箱2一端与柜体1固定连接,所述进料箱2内部开设有一号腔室和二号腔室,所述一号腔室设置于二号腔室正上方,所述一号腔室一侧与柜体1内部相连通,所述一号腔室内部安装有一号输送机3,所述柜体1内部安装有二号输送机4,所述二号输送机4一端延伸至一号腔室内部,所述一号输送机3一端与二号输送机4一端相匹配,所述一号输送机3和二号输送机4之间设置有间隙,所述一号腔室和二号腔室之间开设有升降槽,所述升降槽内部滑动连接有封堵板5,所述封堵板5设置于一号输送机3和二号输送机4之间; 所述搬运机构包括X轴直线模组6、Y轴直线模组7和伸缩货叉8,所述X轴直线模组6固定安装于柜体1内底面,所述X轴直线模组6表面传动连接有一号滑板,所述Y轴直线模组7固定安装于一号滑板顶部,所述Y轴直线模组7表面传动连接有二号滑板,所述二号滑板一侧固定安装有托举架9,所述伸缩货叉8固定安装于托举架9顶部,所述伸缩货叉8的底板中部固定安装有电动推杆10,所述电动推杆10顶部固定安装有三号输送机11,所述三号输送机11一端与二号输送机4另一端相匹配,所述三号输送机11与二号输送机4之间设置有间隙; 所述进料箱2顶部开设有开口槽,所述开口槽与一号腔室内部相连通,所述开口槽设置于一号输送机3正上方; 所述进料箱2顶部安装有磁吸盖板12,所述磁吸盖板12通过磁性吸附固定于开口槽顶部; 所述二号腔室内部安装有驱动电机13和真空泵14,所述驱动电机13的输出轴顶端传动连接有滚珠丝杠15,所述滚珠丝杠15贯穿封堵板5并与封堵板5传动连接; 所述氮气供应机构包括氮气发生器19,所述氮气发生器19固定安装于柜体1一端,所述氮气发生器19输出端固定安装有三通管20; 所述三通管20的两个输出端均安装有电磁阀,所述三通管20的一个输出端延伸至柜体1内部,所述三通管20的另一个输出端延伸至一号腔室内部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人捷螺智能设备(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中区越溪街道北官渡路38号3幢1F西侧A区;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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