内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司;内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司李思超获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司;内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司申请的专利一种提纯多晶硅生产中循环氢气的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117263141B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311163496.X,技术领域涉及:C01B3/50;该发明授权一种提纯多晶硅生产中循环氢气的方法是由李思超;赵长森;牛强;李鹏;徐凯设计研发完成,并于2023-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提纯多晶硅生产中循环氢气的方法在说明书摘要公布了:本发明属于多晶硅工业技术领域,具体涉及一种提纯多晶硅生产中循环氢气的方法。包括以下步骤:1将还原炉尾气进行降温,分离得到冷凝液和含有硼氢化物、磷氢化物的循环氢气;所述还原炉尾气中包含氢气、硼氢化物、磷氢化物和氯硅烷,所述冷凝液中包含氯硅烷;2向冷凝液中加入供氯剂,得到吸收剂;3吸收剂与含有硼氢化物、磷氢化物的循环氢气进行接触反应,得到经初步纯化的循环氢气;4经初步纯化的循环氢气经过吸附剂纯化后,即得除去硼磷杂质的循环氢气本发明的方法减少了试剂的引入,具有环境友好、无二次污染等优点,适合电子级多晶硅生产领域中循环氢气纯化。
本发明授权一种提纯多晶硅生产中循环氢气的方法在权利要求书中公布了:1.一种提纯多晶硅生产中循环氢气的方法,其特征在于,包括以下步骤: 1将还原炉尾气进行降温,分离得到冷凝液和含有硼氢化物、磷氢化物的循环氢气;所述还原炉尾气主要由氢气、硼氢化物、磷氢化物和氯硅烷组成,所述冷凝液主要由氯硅烷组成; 2向冷凝液中加入供氯剂,得到吸收剂; 3吸收剂与含有硼氢化物、磷氢化物的循环氢气进行接触反应,得到经初步纯化的循环氢气; 4经初步纯化的循环氢气经过吸附剂纯化后,即得除去硼磷杂质的循环氢气; 步骤3中接触反应的温度为-90~0℃。
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