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龙图腾网获悉安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利一种碳化硅晶片抛光用光催化辅助设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118322087B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410679896.4，技术领域涉及：B24B31/10；该发明授权一种碳化硅晶片抛光用光催化辅助设备是由钟超;王思远;曹德坤;江成陈设计研发完成，并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅晶片抛光用光催化辅助设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碳化硅晶片抛光用光催化辅助设备，包括带有搅拌系统的混合储液罐，所述混合储液罐的内腔设置有小型光催化器，所述小型光催化器包括上端带有出气管的不透光外壳，所述不透光外壳的上端设置有带有泵体的抽液管，所述抽液管的出液端位于所述不透光外壳的内腔，所述抽液管的下端靠近所述混合储液罐底部设置，所述不透光外壳的内腔同轴心设置有透光内胆，且所述透光内胆的底部为开口设置，所述透光内胆的下端与所述不透光外壳的内腔底部之间设置有间隙。在混合储液罐内腔设置有小型光催化器，可延长抛光液中的二氧化钛的光照时间，且分层光照，使得二氧化钛充分且均匀地光照，有利于二氧化钛颗粒的全部激活。

本发明授权一种碳化硅晶片抛光用光催化辅助设备在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶片抛光用光催化辅助设备，包括带有搅拌系统2的混合储液罐1，所述混合储液罐1用于配置、储存抛光液，其特征在于：所述混合储液罐1的内腔设置有小型光催化器，所述小型光催化器包括上端带有出气管22的不透光外壳3，所述不透光外壳3的上端设置有带有泵体5的抽液管4，所述抽液管4的出液端位于所述不透光外壳3的内腔，所述抽液管4的下端靠近所述混合储液罐1底部设置，所述不透光外壳3的内腔同轴心设置有透光内胆6，且所述透光内胆6的底部为开口设置，所述透光内胆6的下端与所述不透光外壳3的内腔底部之间设置有间隙，所述不透光内胆6的内腔壁上从下至上等间距设置有多个透光隔板9，且每个所述透光隔板9的上下端以及所述不透光外壳3的内腔壁上均设置有多个紫外线光源11，每个所述透光隔板9上均设置有切口10，且所述切口10与所述不透光内胆6的内壁之间形成溢流空隙，从下至上，多个所述切口10呈一左一右间隔设置，所述透光内胆6上设置有贯穿所述不透光外壳3的出液管12，所述出液管12的进液端位于最上方所述透光隔板9的上方； 所述抽液管4的出液端安装有旋转接头7，所述旋转接头7的出液端外壁上呈圆桌设置有多个排液管8，且多个所述排液管8的排液端均向同侧弯曲设置； 所述透光内胆6以及多个所述透光隔板9的轴心处均固定设有筒体13，相邻两个所述筒体13之间设置有间距，且间距处设置有外壁上带有搅拌杆16的转环15，且除最下方所述转环15外，其与所述转环15的上下端均通过密封轴承与相邻两个所述筒体13的上下端密封转动连接，所述转环15的内腔均设置有驱动齿环，最下方所述转环15的上端通过密封轴承分别与上方所述筒体13以及固定在所述不透光外壳3内腔底部的安装筒23密封转动连接，多个所述转环15的内环壁上均设有从动齿环； 所述旋转接头7的旋转端底部固定有转轴14，且所述转轴14的下端穿过多个所述筒体13并与所述安装筒23转动连接，所述转轴14上安装有多个驱动齿环18，且多个所述驱动齿环18与多个所述从动齿环一一对应齿接； 还包括调速单元，用于调节每个所述转环15的转速，使得从下至上的所述转环15速度由大减小，再由小增大； 所述调速单元包括四个规格相同且为小直径的第一传动齿轮19、两个规格相同且为大直径的第二传动齿轮20，所述第二传动齿轮20的直径是所述第一传动齿轮19的两倍； 所述转环15设置为五组，除中部一组所述转环15外，其与所述转环15的内壁上均设置规格相同的第一从动齿环17，中部所述转环15的内腔壁通过连接杆固定有第二从动齿环21； 从下至上数，第一组和第一五组所述转环15的内腔设置有两个所述第一传动齿轮19，两个所述第一传动齿轮19直线排列并啮合连接，所述第一从动齿环17通过两个所述第一传动齿轮19与所述驱动齿环18啮合连接，第二组和第四组所述转环15的内腔设置有一个第二传动齿轮20，所述第一从动齿环17通过所述第二传动齿轮20与所述驱动齿环18啮合连接，第三组所述第二从动齿环21直接与所述驱动齿环18直接啮合连接。

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